[发明专利]附调温装置的液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法

权利要求书

1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，

是具备吐出口、与吐出口连通的液室、及控制吐出动作的吐出控制装置，且一边使工件与吐出口相对移动一边将液体材料自吐出口吐出的液体材料吐出装置，

具备：

传热调温装置，其具备用于调节所述液室的温度的热源；及

防热调温装置，其设置于传热调温装置与工件之间，对传热调温装置的温度进行调节，

所述防热调温装置具备供热交换流体流动的热交换流路，

所述热交换流路与所述传热调温装置进行热交换。

2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述传热调温装置具备将来自所述热源的热传导至所述液室的热传导构件。

3.如权利要求2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述热传导构件为覆盖所述液室的周围的调温罩。

4.如权利要求3所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

具备在下端形成有所述吐出口的喷嘴构件，

所述调温罩设置有供所述喷嘴构件插通的吐出用孔或连通所述吐出口与外界的吐出用孔。

5.如权利要求3或4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述调温罩的底面构成所述热交换流路的内壁的至少一部分。

6.如权利要求3或4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热调温装置具备将来自所述工件侧的辐射热遮断的防热构件。

7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件反射特定波长区域的红外线。

8.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件构成所述热交换流路的内壁的至少一部分。

9.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件具有与所述调温罩的底面同等以上的底面积，且被配置为在自底面侧观察时遮盖所述调温罩的底面。

10.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件具备覆盖所述热交换流路的侧面的立起部。

11.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

在所述防热构件的底面具备由反射特定波长区域的红外线的金属面、或反射特定波长区域的红外线的涂膜面构成的红外线反射层。

12.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件具备由热传导率比所述调温罩的底面高的材料构成且构成所述热交换流路的内壁的热传递层。

13.如权利要求12所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件在所述热传递层与所述防热构件的底面之间具备由热传导率比所述防热构件的底面低的材料构成的隔热层。

14.如权利要求13所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述隔热层由树脂所构成。

15.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述防热构件包含与所述调温罩的底面隔着间隙配置的板状构件而构成，并通过该间隙构成所述热交换流路。