[发明专利]光束扫描装置

说明书

曝光装置(EX)，是将加工用光束(LBn)投射至绕旋转轴(AXp)旋转的多面镜(PM)的多个反射面(RP)的各个，并使被多个反射面(RP)的各个反射的加工用光束(LBn)通过fθ透镜系统(FT)于基板(P)上进行扫描。该曝光装置(EX)具备：原点感测器，是在每当多面镜(PM)的多个反射面(RP)的各个成为既定的规定角度时便产生原点信号(SZn)；及修正部，其产生经修正值修正的修正原点信号(SZn')，该修正值是相应于对应多个反射面(RP)的各个而产生的原点信号(SZn)的时间上间隔的偏差量的修正值。

技术领域

本发明是关于一种使照射至对象物的被照射面上的光束的点光进行扫描的光束扫描装置、使用此种光束扫描装置描绘曝光既定的图案的图案描绘装置、及图案描绘装置的精度检查方法。

背景技术

以往，已知例如使用如下文所示的日本特开2005-262260号公报的激光加工装置(光扫描装置)来实现如下操作，即，将激光光束的点光投射至被照射体(加工对象物)，且一面藉由扫描反射镜(多面镜)使点光于一维方向上进行主扫描，一面使被照射体于与主扫描方向正交的副扫描方向上移动，而于被照射体上形成所期望的图案或图像(文字、图形等)。

于日本特开2005-262260号公报中揭示有设置如下构件：检流计镜，其使来自振荡器1的激光光反射并对照射至被加工物的激光光于被加工物上的照射位置在Y方向(副扫描方向)上进行修正；多面镜，其将由检流计镜反射的激光光反射并使其于被加工物上在X方向(主扫描方向)上进行扫描；fθ透镜，其使由检流计镜反射的激光光聚光于被加工物上；及控制部，其应对激光光通过fθ透镜时产生的畸变像差，以修正激光光于被加工物上的Y方向的照射位置误差的方式控制检流计镜的反射角度，并且以修正激光光于被加工物上的X方向的照射位置误差的方式控制利用振荡器所产生的激光光的脉冲振荡间隔。进而，于日本特开2005-262260号公报的图8中表示设置激光光源及检测器，并根据端部检测信号而如日本特开2005-262260号公报的图9所示般控制振荡器的脉冲振荡的时序的构成，该激光光源出射用以于多面镜的旋转中检测多面镜的各反射面的端部的检测激光光，该检测器接收于多面镜的各反射面的端部反射的检测激光光的反射光并产生端部检测信号。就如日本特开2005-262260号公报般的使用多面镜的激光加工装置(光束扫描装置)而言，使多面镜的旋转越高速，则越可缩短被加工物的加工处理时间，而可提高生产性。然而，有使多面镜的旋转越高速，则主扫描方向上的加工位置的偏差越明显的情况。

发明内容

本发明的第1态样是一种光束扫描装置，其是对绕旋转轴旋转的旋转多面镜的多个反射面的各个投射加工用光束，使被该多个反射面的各个反射的该加工用光束通过扫描用光学系统于被照射体上进行扫描，且具备：原点检测部，是在每当该旋转多面镜的该多个反射面的各个成为既定的规定角度时产生原点信号；及修正部，其产生经修正值修正的修正原点信号，该修正值是相应于根据对应该多个反射面的各个而产生的该原点信号的时间上间隔的偏差量的修正值。

本发明的第2态样是一种图案描绘装置，其是藉由对绕旋转轴旋转的旋转多面镜的多个反射面的各个投射描绘用光束，使被该多个反射面的各个反射的该描绘用光束通过扫描用光学系统于被照射体上进行扫描，而于该被照射体描绘图案，且具备：原点检测部，是在每当该旋转多面镜的该多个反射面的各个成为既定的规定角度时产生原点信号；描绘控制部，其将自该原点信号的产生起既定的延迟时间后设定为利用该描绘用光束进行的图案描绘的开始时间点；及修正部，其根据与该多个反射面的各个成为该规定角度的时间上间隔的偏差相应的修正值，针对该多个反射面的各个修正由该描绘控制部设定的该延迟时间。