[发明专利]光束扫描装置

权利要求书

1.一种光束扫描装置，其特征在于，其是对绕旋转轴旋转的旋转多面镜的多个反射面的各个投射加工用光束，使被该多个反射面的各个反射的该加工用光束通过扫描用光学系统于被照射体上进行扫描，且包括：

原点检测部，是在每当该旋转多面镜的该多个反射面的各个成为既定的规定角度时产生原点信号；

修正部，其产生经修正值修正的修正原点信号，该修正值是相应于对应该多个反射面的各个而产生的该原点信号的时间上间隔的偏差量的修正值；及

算出部，其是对伴随该旋转多面镜的旋转速度的变动的误差进行修正，并算出该原点信号的时间上间隔的偏差量。

2.如权利要求1所述的光束扫描装置，其特征在于，

进而具备控制部，该控制部是根据该修正原点信号而控制该加工用光束的朝该被照射体的投射的时序。

3.如权利要求1或2所述的光束扫描装置，其特征在于，

该原点检测部具备：光电检测器，其接收投射至该旋转多面镜的反射面的检测用光束的反射光束并产生该原点信号；及聚光光学系统，其使该检测用光束的该反射光束于该光电检测器聚光为光点，并且使藉由该旋转多面镜的旋转而横穿该光电检测器的该光点的扫描速度，较该加工用光束于该被照射体上的扫描速度快。

4.如权利要求3所述的光束扫描装置，其特征在于，

该扫描用光学系统具有使被该旋转多面镜的该多个反射面的各个反射的该加工用光束在该被照射体上聚光为光点的折射能力，

该聚光光学系统包含光学元件，该光学元件具有较该扫描用光学系统的折射能力低的折射能力且使该检测用光束的该反射光束聚光。

5.如权利要求4所述的光束扫描装置，其特征在于，

使与该聚光光学系统的该光学元件的折射能力相应的焦点距离，较与该扫描用光学系统的折射能力相应的焦点距离长。

6.如权利要求5所述的光束扫描装置，其特征在于，

该修正部，是使用将从该原点信号的产生时刻的间隔所求出的与该旋转多面镜转1圈对应的转动时间除以该旋转多面镜的反射面的数而得的基准间隔时间，设定与该偏差量相应的修正值。

7.如权利要求3所述的光束扫描装置，其特征在于，

该聚光光学系统包含：反射光学构件，其将该检测用光束被该旋转多面镜的反射面最初反射的第1反射光束反射向该旋转多面镜的反射面；及光学元件，其使被该旋转多面镜的反射面第2次反射的第2反射光束入射，并于该光电检测器聚光为光点。

8.如权利要求7所述的光束扫描装置，其特征在于，

该修正部，是使用将从该原点信号的产生时刻的间隔所求出的与该旋转多面镜转1圈对应的转动时间除以该旋转多面镜的反射面的数而得的基准间隔时间，设定与该偏差量相应的修正值。

9.如权利要求3所述的光束扫描装置，其特征在于，

该修正部，是使用将从该原点信号的产生时刻的间隔所求出的与该旋转多面镜转1圈对应的转动时间除以该旋转多面镜的反射面的数而得的基准间隔时间，设定与该偏差量相应的修正值。