[发明专利]用于在真空腔室中使用的载体、用于测试真空腔室中的运输布置的系统、真空处理系统和用于测试真空腔室中的运输布置的方法

权利要求书

1.一种用于在真空腔室中的运输的载体，包括：

主体；和

一个或多个运动传感器，连接到所述主体。

2.一种用于在真空腔室中使用的载体，包括：

一个或多个运动传感器，被配置为检测作用在所述载体上的动量和所述载体的加速度中的至少一个。

3.如权利要求1或2所述的载体，其中所述载体被配置为用于沿着所述真空腔室中的轨道的运输。

4.如权利要求3所述的载体，进一步包括一个或多个接触元件，所述一个或多个接触元件被配置为机械地接触所述轨道以用于所述载体在所述真空腔室中的运输。

5.如权利要求1至4中任一项所述的载体，其中所述一个或多个运动传感器是加速度传感器。

6.如权利要求1至5中任一项所述的载体，进一步包括通信装置，所述通信装置连接到所述一个或多个运动传感器。

7.如权利要求6所述的载体，其中所述通信装置被配置为将由所述一个或多个运动传感器提供的运动数据传输到外部装置。

8.如权利要求1至7中任一项所述的载体，其中所述载体是测试载体，所述测试载体不配置为承载基板或掩模。

9.一种用于测试真空腔室中的运输布置的系统，包括：

载体，具有一个或多个运动传感器；和

处理器装置，被配置为分析由所述一个或多个运动传感器提供的运动数据。

10.如权利要求9所述的系统，其中所述载体根据权利要求1至8中任一项配置。

11.一种真空处理系统，包括：

真空腔室；

如权利要求1至8中任一项的载体；和

运输布置，被配置为用于所述载体在所述真空腔室中的运输。

12.一种用于测试真空腔室中的运输布置的方法，包括：

在所述真空腔室中沿着轨道移动具有一个或多个运动传感器的载体；和

分析由所述一个或多个运动传感器提供的传感器信号。

13.如权利要求12所述的方法，其中分析所述传感器信号包括：

确定所述载体的加速度特性。

14.如权利要求12或13所述的方法，其中分析所述传感器信号包括：

确定对所述载体的冲击。

15.如权利要求14所述的方法，进一步包括：

如果至少一次冲击高于设定阈值，那么确定所述轨道的有缺陷状况。