[发明专利]感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板及显示器

说明书

本发明的目的在于提供能够同时实现微细图案的分辨率和基板上的残渣抑制的感光性树脂组合物。提供含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合物的感光性树脂组合物。

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板及显示器。

背景技术

近年来，伴随着显示器的高精细化、电子部件的小型化或高密度化等，对电子布线的微细化的要求逐渐提高。作为使用含有导电性粒子的树脂组合物来制作电子布线中使用的导电性图案的方法，通常为在基板上形成图案后进行加热、由此使导电性粒子相接触而得到导电性图案的方法。作为在基板上形成图案的方法，例如，可举出丝网印刷法、喷墨法或光刻法。它们中，认为丝网印刷法、喷墨法不适于形成微细图案，而光刻法适于微细图案的形成。

光刻法中，在感光性组合物的涂布及干燥后，隔着描绘有微细布线图案的形状的光掩模照射紫外线等，由此在涂膜上形成曝光部及未曝光部。接着，利用显影液对其进行显影，由此在基板上形成微细图案。进而，通过之后的导电化处理，从而形成微细的导电性图案。该方法中使用的感光性组合物由导电性粒子、感光剂及树脂等构成(专利文献1～4)。

进而，为了形成5μm以下的超微细图案，需要使用具有更微小粒径的粒子作为导电性粒子、以及需要抑制凝集粒子的产生。此时，就前者而言，从图案的表面平滑性及侧面直线性的观点考虑，针对要求的布线宽度，必须使用粒径充分小的微粒。就后者而言，为了获得导电性粒子的分散稳定性，必须使用粒子表面经被覆的粒子。此处，作为使用了粒径充分小且进行了表面被覆的微粒的感光性树脂组合物，已知使用了通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的银微粒(专利文献5～6)的感光性树脂组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-199954号公报

专利文献2：日本特开2014-142587号公报

专利文献3：日本特开2002-82428号公报

专利文献4：日本特开2013-101861号公报

专利文献5：日本特开2013-196997号公报

专利文献6：WO2016/158864

发明内容

发明要解决的课题

然而，在使用了通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的银微粒的感光性树脂组合物中，在形成图案时容易在基板上、尤其是包含有机成分的膜上产生残渣。因此，将该感光性树脂组合物形成图案而得到的物质存在外观不良或可靠性降低等问题。

本发明是鉴于上述现有技术的缺点而作出的，其目的在于提供一种感光性树脂组合物，其即使在包含有机成分的膜上，也能够同时实现微细图案的分辨率和基板上的残渣抑制。通过使用这样的感光性树脂组合物，能够得到外观极为良好且可靠性高的微细的导电性图案。

用于解决课题的手段

本申请的发明人进行了深入研究，结果发现，含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C)的感光性树脂组合物对于解决上述课题极其有效。

即，本发明提供含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、具有酸解离性基团的碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C)的感光性树脂组合物。

发明的效果

根据本发明的感光性树脂组合物，能够得到外观良好且可靠性高的微细的导电图案。

具体实施方式