[发明专利]感光性树脂组合物、导电性图案的制造方法、基板、触摸面板及显示器有效
申请号: | 201780060041.1 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN109791352B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 此岛阳平;诹访充史;山铺有香 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;H01B1/22;H01B5/14;H01B13/00;H01L31/0224;H01L51/50;H05B33/02;G03F7/038;G06F3/041 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 导电性 图案 制造 方法 基板 触摸 面板 显示器 | ||
1.感光性树脂组合物,其含有通过碳单质及/或碳化合物进行了表面被覆的导电性粒子(A)、碱溶性树脂(B)以及金属螯合性化合物(C),所述碱溶性树脂(B)为具有碳原子数为4~15的酸解离性基团的(甲基)丙烯酸系共聚物,所述金属螯合性化合物(C)中β-二酮或β-酮酯用作为螯合剂。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述金属螯合性化合物(C)包含Au、Ag、Cu、Cr、Fe、Co、Ni、Bi、Pb、Zn、Pd、Pt、Al、Ti、Zr、W及/或Mo。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述金属螯合性化合物(C)包含Al、Zr及/或Bi。
4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述金属螯合性化合物(C)包含2个以上的配体。
5.如权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述导电性粒子(A)包含银。
6.如权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述导电性粒子(A)的一次粒径为1~700nm。
7.导电性图案的制造方法,其具备下述工序:
涂布工序,将权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上而得到涂布膜;
干燥工序,对所述涂布膜进行干燥而得到干燥膜;
曝光显影工序,对所述干燥膜进行曝光及显影而形成图案;和
后烘烤工序,对所述图案进行后烘烤而得到导电性图案。
8.如权利要求7所述的导电性图案的制造方法,其中,所述导电性图案的宽度为5μm以下。
9.基板,其具备由权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物形成的导电性图案。
10.如权利要求9所述的基板,其至少在包含有机成分的膜上具备导电性图案。
11.如权利要求9或10所述的基板,其从基材侧起至少具备导电性图案、包含有机成分的膜与导电性图案的层叠体。
12.如权利要求10或11所述的基板,其中,所述包含有机成分的膜含有碱溶性树脂。
13.如权利要求12所述的基板,其中,所述包含有机成分的膜中的碱溶性树脂含有极性基团。
14.如权利要求12所述的基板,其中,所述包含有机成分的膜中的碱溶性树脂含有Cardo系树脂。
15.如权利要求14所述的基板,其中,所述包含有机成分的膜中的碱溶性树脂还包含丙烯酸树脂,并且Cardo系树脂与丙烯酸树脂的含量比(重量比)为1:10~10:1。
16.如权利要求10~15中任一项所述的基板,其中,所述包含有机成分的膜含有聚酰亚胺树脂、聚酰亚胺硅氧烷树脂、聚醚砜树脂、聚苯并噁唑树脂、芳族聚酰胺树脂、环氧树脂及/或磺酰胺树脂。
17.如权利要求16所述的基板,其中,所述包含有机成分的膜含有聚酰亚胺树脂、聚酰亚胺硅氧烷树脂、聚苯并噁唑树脂及/或芳族聚酰胺树脂。
18.触摸面板的制造方法,其至少具备下述工序:对将权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而得到的膜进行曝光、显影。
19.显示器的制造方法,其至少具备对权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物进行显影的工序。
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