[发明专利]机器人、机器人的控制装置及机器人的位置教示方法

说明书

一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息；动作控制部，其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作；及存储部，其将一致时的手的位置作为教示数据存储。

技术领域

本发明涉及一种机器人、机器人的控制装置及机器人的位置教示方法。

背景技术

在半导体装置及液晶装置领域中，因装置的复杂化及搬运物的巨大化，而使机器人的教示变得越发困难。向机器人教示准确的位置对于机器人的可靠性而言极为重要。在这样的状况下，由操作员的技能不足引起的教示错误是一个严重的问题。因此，需要一种用于不依赖操作员的技能而向机器人教示准确的位置的技术。

在专利文献1中公开了使设置于机器人的手腕的末端效应器接触目标，并撷取末端效应器与目标接触状态下的位置从而检测出目标的位置的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-152898号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，专利文献1的方法中在向机器人教示位置时，必须使末端效应器接触目标，故而可能产生误差等问题。因此，在教示精度的改善方面尚存进一步改进的余地。

因此，本发明是为了解决上述问题而作出的，目的在于不依赖操作员的技能而向机器人精度良好地教示正确的位置。

解决问题的手段：

为解决所述课题，本发明的某一形态的机器人是将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人，具备：机器臂；安装于所述机器臂的梢端的手；相机，所述相机以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式固定安装于基板载置部以外的部分；影像数据获取部，所述影像数据获取部获取由所述相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，所述虚拟基板信息生成部在所述相机的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，所述距离信息算出部基于所述相机的影像数据计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息；动作控制部，所述动作控制部基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器臂的动作；及存储部，所述存储部将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储。

根据上述结构，仅通过对包含配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板、及手的基板载置部的空间进行拍摄，就能基于相机影像计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，并基于该距离信息以使手的基板载置部上虚拟配置的虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器人的动作。通过将此时的手的位置存储为教示数据，能向机器人教示与基板的目标位置对应的手的位置。藉此，能不依赖操作员的技能而向机器人精度良好地教示正确的位置。此处作为教示数据进行存储是指例如在机器人控制器中将手的位置作为动作程序等可再生的信息进行存储（登录）。另外，教示用基板也可以是具有模仿实际的基板的形状的模拟基板。相机也可以是固定安装于手的基端部。

也可以是所述距离信息算出部通过对所述虚拟基板的影像与所述教示用基板的影像进行模式匹配（Pattern matching），由此计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息。