[发明专利]带故障检测用传感器的致动器以及致动器的故障检测方法

权利要求书

1.一种带故障检测用传感器的致动器，其具备：

线性引导部，其引导可动体进行直线移动；以及

滚珠丝杠部，其沿丝杠轴的轴向驱动所述可动体，

所述带故障检测用传感器的致动器的特征在于，

用于检测所述致动器的故障的传感器配置于收容有联轴器的壳体中，所述联轴器连结所述丝杠轴和使所述丝杠轴旋转的马达，

所述传感器是检测所述壳体的振动的振动传感器、检测传递到所述壳体的弹性波的AE传感器即声发射传感器、或者检测传递到所述壳体的超声波的超声波传感器。

2.根据权利要求1所述的带故障检测用传感器的致动器，其特征在于，

所述壳体包括：

第一壁部，其设有将所述丝杠轴支承为能够旋转的轴承；

第二壁部，其安装有所述马达；以及

底部，其与所述第一壁部和所述第二壁部连接，

所述传感器配置于所述底部的上表面。

3.一种致动器的故障检测方法，

所述致动器具备：

线性引导部，其引导可动体进行直线移动；以及

滚珠丝杠部，其沿丝杠轴的轴向驱动所述可动体，

所述致动器的故障检测方法的特征在于，

将用于检测所述致动器的故障的传感器配置于收容有联轴器的壳体中，所述联轴器连结所述丝杠轴和使所述丝杠轴旋转的马达，

所述传感器是检测所述壳体的振动的振动传感器、检测传递到所述壳体的弹性波的AE传感器即声发射传感器、或者检测传递到所述壳体的超声波的超声波传感器。