[发明专利]控制装置

说明书

本发明涉及具有多个传感器(32i)和/或致动器(33i)的组装件(30)的控制装置(31)，该控制装置(31)包括至少一个第一控制单元(34)，该至少一个第一控制单元(34)设计为适合真空的，并且该至少一个第一控制单元(34)具有分裂和/或合并信号的信号分配器以及将数字信号变换为模拟信号和/或将模拟信号变换为数字信号的转换器。

相关专利的交叉引用

本专利申请要求德国专利申请DE 10 2016 216 188.1的优先权，其内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及控制装置，特别是具有多个传感器和/或致动器的组装件的控制装置。本发明还涉及包括这样的控制装置的组装件。此外，本发明涉及真空环境中控制多个部件的位移位置的方法。此外，本发明涉及投射曝光设备的照明光学单元和照明系统、投射曝光设备的投射光学单元、以及投射曝光设备。最后，本发明涉及制造微结构或纳米结构部件的方法，还涉及根据该方法制造的部件。

背景技术

由于各种原因，定位EUV投射曝光设备的部件是非常复杂的。这尤其与以下事实关联：定位对应部件的传感器和/或致动器布置在真空中。

例如，从DE 10 2014 207 866 A1已知了控制多反射镜阵列的单独反射镜的定位的装置和方法。DE 10 2013 220 464 A1公开了具有传输信号的指定闭包的真空容器。

发明内容

本发明的一个目的是为了改进控制装置，特别是真空中布置的组装件的控制装置。

该目的是通过权利要求1的特征来实现。本发明的要点在于设计具有至少一个控制单元的控制装置，该控制单元设计为适合真空的、具有分裂和/或组合信号的分配器，并且具有将数字信号变换为模拟信号和/或将模拟信号变换为数字信号的变换器。将分配器和变换器组合在单个部件中。

根据本发明的控制装置使更快的数据连接和/或简化的连接特别地跨越真空边界成为可能。

控制单元还被称为分配器-变换器盒或简称为分配器盒(分派器单元)。

一方面，分派器单元具有一个或多个纯数字输入和/或输出。另一方面，它具有多个模拟输入和/或输出。模拟输出的数目特别地大于数字输入的数目。模拟输入的数目特别地大于数字输出的数目。

分派器单元还可以具有电源的输入。作为其替代，它可以具有自动电源。它可以特别地经由电池或可再充电的电池供应电压。

模拟输出的数目优选为至少四个、尤其为至少六个、尤其为至少八个、尤其为至少十个、尤其为至少十二个、尤其为至少二十个、尤其为至少三十个、尤其为至少五十个、尤其为至少一百个、尤其为至少两百个、尤其为至少三百个、尤其为至少五百个、尤其为至少一千个。它可以多到一百万个。原则上它甚至还可以更多。

模拟输入的数目优选为至少四个、尤其为至少六个、尤其为至少八个、尤其为至少十个、尤其为至少十二个、尤其为至少二十个、尤其为至少三十个、尤其为至少五十个、尤其为至少一百个、尤其为至少两百个、尤其为至少三百个、尤其为至少五百个、尤其为至少一千个。它可以多到一百万个。原则上它甚至还可以更多。

数字输入的数目尤其为至多十个、尤其为至多五个、尤其为至多三个、尤其为至多两个。它还可以是恰好一个。

数字输出的数目尤其为至多十个、尤其为至多五个、尤其为至多三个、尤其为至多两个。它还可以是恰好一个。

分派器单元使检测多个模拟传感器信号和/或以模拟信号致动多个致动器成为可能。它可以将模拟传感器信号变换为数字信号并且将它们组合，以形成更少数目的信号。相反地，它可以将数字致动信号变换和分裂为多个模拟致动信号。