[发明专利]控制装置

权利要求书

1.一种控制装置(31)，所述控制装置(31)用于具有多个传感器(32_i)和/或致动器(33_i)的组装件(30)，所述控制装置(31)包括：

1.1.至少一个第一控制单元(34)，所述至少一个第一控制单元(34)

1.1.1.设计为适合真空的，

1.1.2.具有分裂和/或组合信号的分配器，并且

1.1.3.具有将数字信号变换为模拟信号和/或将模拟信号变换为数字信号的变换器。

2.根据权利要求1所述的控制装置(31)，其特征在于，至少一个第二控制单元(35)设计为数字组装件，并且以数据传输方式连接到所述至少一个第一控制单元(34)。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的控制装置(31)，其特征在于，高速数据连接件(37)用于所述至少一个第一控制单元(34)的信号传输式连接，所述高速数据连接件(37)包括真空衬套(36)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(31)，其特征在于所述控制单元(34)具有一个或多个纯数字输入(40)和/或输出(41)以及多个模拟输入和/或输出。

5.根据权利要求4所述的控制装置(31)，其特征在于模拟输出(41)的数目大于数字输入(40)的数目，和/或在于模拟输入(40)的数目大于数字输出(41)的数目。

6.根据权利要求4或5所述的控制装置(31)，其特征在于，所述数据连接件(37)包括至少一个双工数据连接件。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的控制装置(31)，其特征在于，所述控制装置包括重叠真空边界(38)的至少一个闭环控制电路。

8.一种组装件(30)，包括

8.1.至少一个可移位的部件，所述至少一个可移位的部件具有

8.1.1.多个传感器(32_i)和/或

8.1.2.多个致动器(33_i)，以及

8.2.根据前述权利要求中任一项所述的至少一个控制装置(31)，

8.3.其中所述至少一个控制装置(31)以信号传输的方式连接到所述传感器(32_i)和/或所述致动器(33_i)，并且

8.4.其中所述至少一个部件布置在真空中。

9.一种在真空环境中控制多个部件的位移位置的方法，所述方法包括以下步骤：

9.1.提供根据权利要求8所述的组装件，

9.2.通过所述控制装置(31)产生控制信号，

9.3.经由真空边界(38)引导数字信号。

10.一种投射曝光设备(1)的照明光学单元(4)，包括至少一个根据权利要求8所述的组装件(30)。

11.一种投射曝光设备(1)的照明系统(2)，包括

11.1.根据权利要求10所述的照明光学单元(4)，以及

11.2.产生照明辐射(10)的辐射源(3)。

12.一种投射曝光设备(1)的投射光学单元(7)，包括至少一个根据权利要求8所述的组装件(30)。

13.一种微光刻的投射曝光设备(1)，包括

13.1.照明光学单元(4)，

13.2.投射光学单元(7)以及

13.3.至少一个根据权利要求8所述的组装件(30)。

14.一种制造微结构或纳米结构部件的方法，包括以下步骤：

15.一种根据权利要求14所述的方法制造的部件。