[发明专利]探针和检查单元

说明书

探针具有：板状的可动针(20)，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部(21)、及分别设置于弹性部(21)的长边方向的两端部的第1触点部(22)和第2触点部(23)；以及导通路径形成构件(30)，其被配置成在可动针(20)的板厚方向上重叠。导通路径形成构件(30)在长边方向的两端部分别具有与第1触点部(22)和第2触点部(23)分别接触的第1接触面(36)和第2接触面(37)，可动针(20)和导通路径形成构件(30)分别维持第1触点部(22)与第1接触面(36)的接触和第2触点部(23)与第2接触面(37)的接触，并且被配置成能够沿着长边方向相对移动。

技术领域

本发明涉及探针和使用该探针的检查单元。

背景技术

在半导体等一般的电子部件中，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用呈矩阵状收纳探针的检查单元，连接半导体封装的电极部和检查装置，由此进行这些检查。

作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有：沿着长边方向分别独立设置且相互隔开间隔配置的固定部和可动部；以及连结固定部和可动部的蛇腹体。而且，在可动部的宽度方向的一端部设置可动接触片，该可动接触片沿着蛇腹体在长边方向上延伸且能够与固定部接触，可动部和固定部经由该可动接触片电连接。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5699899号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，伴随着电子部件模块的小型化，还要求检查中使用的检查单元的各探针的小型化、以及各探针的排列的窄间距化。

在所述探针中，在可动部的宽度方向上设置有可动接触片，因此，在所述探针的宽度方向上隔开规定的间隔排列多个所述探针的情况下，很难使相邻的所述探针间的宽度方向的间隔以一定以上程度变窄，有时无法实现排列的窄间距化。

因此，本发明的课题在于，提供能够实现排列的窄间距化的探针和检查单元。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式的探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。

例如，导通路径形成构件呈细长的板状或棒状。

此外，本发明的检查单元具有：所述探针；以及外壳，其具有收纳部，该收纳部以所述可动针的所述第1触点部的一部分和所述第2触点部的一部分位于外部的状态收纳所述探针，并且将所述可动针和所述导通路径形成构件支承为能够沿着所述长边方向相对移动。

发明效果

根据所述方式的探针，具有板状的可动针以及被配置成在该可动针的板厚方向上重叠的导通路径形成构件。由此，通过可动针的宽度方向尺寸确定探针的宽度方向尺寸，因此，能够实现探针的宽度方向上的小型化，在宽度方向上排列多个探针的情况下，也能够实现排列的窄间距化。

此外，根据本发明的检查单元，通过多个所述探针，能够实现排列的窄间距化。

附图说明

图1是具有本发明的第1实施方式的探针的检查单元的立体图。

图2是本发明的第1实施方式的探针的立体图。