[发明专利]探针和检查单元

权利要求书

1.一种探针，该探针具有：

板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及

导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，

所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，

所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动，

在所述可动针的所述第1触点部设置有引导孔部，该引导孔部在所述长边方向上延伸，并且在板厚方向上贯通所述可动针，

在所述导通路径形成构件的第1接触面侧的端部设置有引导部，该引导部位于所述引导孔部，并且能够沿着所述引导孔部的延伸方向移动。

2.根据权利要求1所述的探针，其中，

所述导通路径形成构件由能够向彼此分离的方向挠曲的一对脚部构成，

在所述一对脚部的所述长边方向的一端部分别设置有一对突出部，所述一对突出部向彼此接近的方向突出，并且构成所述第2接触面，在所述一对脚部的所述长边方向的另一端部设置有分别连结所述一对脚部的所述引导部，

所述可动针的所述第2触点部以能够移动的方式被所述一对突出部夹持。

3.一种探针，该探针具有：

板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及

导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，

所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，

所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动，

所述导通路径形成构件呈在所述长边方向上延伸的板状，在所述长边方向的两端部分别设置有朝向所述可动针突出的突出部，所述第1接触面和所述第2接触面分别配置于所述突出部。

4.一种探针，该探针具有：

板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及

导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，

所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，

所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动，

所述导通路径形成构件呈在所述长边方向上延伸的棒状，所述导通路径形成构件的中间部向与所述可动针分离的方向弯曲。

5.一种检查单元，该检查单元具有：

多个权利要求1～4中的任意一项所述的探针；以及

外壳，其具有多个收纳部，所述多个收纳部以所述可动针的所述第1触点部的一部分和所述第2触点部的一部分位于外部的状态收纳所述探针，并且将所述可动针和所述导通路径形成构件支承为能够沿着所述长边方向相对移动。