[发明专利]具有侧光罩遏制的光罩舱

权利要求书

1.一种用于固持光罩的光罩舱，其包括：

底座，其经配置以支撑其上的光罩；以及

盖，其具有顶部表面，且经配置以与所述底座配对；

其中所述盖包含一或多个光罩保持器，所述一或多个光罩保持器各自包含光罩接触部件，所述光罩接触部件经配置以接触光罩的侧壁，来限制所述光罩在水平方向上的移动，每一光罩接触部件包含向外延伸的臂和延伸穿过所述盖的向下延伸的支腿，其中在所述向外延伸的臂致动后，所述向下延伸的支腿经配置以在朝光罩的侧壁的方向上移动。

2.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件限制垂直方向上的移动。

3.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件进一步经配置以接触光罩的顶部表面。

4.根据权利要求1所述的光罩舱，其进一步包括一或多个额外光罩保持器，所述一或多个额外光罩保持器经配置以接触光罩的顶部表面。

5.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述一或多个光罩保持器中的每一者进一步包括弹性部件，其中所述弹性部件使所述光罩接触部件偏置在非接触位置中。

6.根据权利要求5所述的光罩舱，其中所述一或多个光罩保持器中的每一者的所述弹性部件包含弹性圆盘，所述弹性圆盘包围所述向下延伸的支腿。

7.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述一或多个光罩保持器中的每一者包含紧固到所述盖的盖子。

8.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述向外延伸的臂至少部分地在所述盖的顶部表面上方延伸。

9.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述向外延伸的臂包括至少一个向下延伸的部件。

10.根据权利要求9所述的光罩舱，其中所述盖进一步包括凹进部分，所述凹进部分经配置以在所述向外延伸的臂致动后，即刻接纳所述至少一个向下延伸的部件。

11.根据权利要求9所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件进一步包含横向部件，所述横向部件与所述向外延伸的臂形成T形，所述横向部件具有至少一个向下延伸的部件。

12.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述向下延伸的支腿包含至少一第一凹进部分，以及接纳在所述第一凹进部分中的第一接触部件。

13.根据权利要求12所述的光罩舱，其中所述向下延伸的支腿包含第二凹进部分和接纳在所述第二凹进部分中的第二接触部件，其中所述第一接触部件相对于所述第一凹进部分成角度定位。

14.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述光罩舱包含在具有外舱底座和经配置以与所述外舱底座配对的外舱盖的外舱内，所述外舱盖具有内表面和从所述内表面延伸的至少一个接触垫，使得其接触并致动所述光罩舱的所述向外延伸的臂，从而致使所述向下延伸的支腿在朝所述光罩的所述侧壁的方向上移动。

15.一种保持光罩的方法，其包括：

将光罩接纳在底座上，所述底座具有经配置以支撑其上的所述光罩的特征；

将盖放置在包含所述光罩的所述底座上以限定内舱，所述盖包含一或多个光罩保持器，其各自包含光罩接触部件，每一光罩接触部件包含：向外延伸的臂，其至少部分地在所述盖的顶部表面上方延伸；以及向下延伸的支腿，其延伸穿过所述盖；以及

致动所述一或多个光罩保持器接触所述光罩的侧壁，以限制所述光罩在水平方向上的移动，

其中在所述向外延伸的臂致动后，所述向下延伸的支腿经配置以在朝所述光罩的所述侧壁的方向上移动。