[发明专利]照明光学系统、光刻装置以及物品制造方法

说明书

提供一种使用来自光源的光对被照明面进行照明的照明光学系统。照明光学系统具有：光学积分器，配置在光源与被照明面之间；和光学滤波器，具有调整入射至光学积分器的光的强度的调整部。光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器。照明光学系统通过变更与该照明光学系统的光轴垂直的方向上的调整部的位置来变更被照明面中的照度。

技术领域

本发明涉及照明光学系统、光刻装置以及物品制造方法。

背景技术

在将形成于掩模的图案投影到涂敷了抗蚀剂等感光性材料的基板的曝光装置中，谋求掩模面、基板面等被照明面的照度均匀性的提高。作为使照度均匀性提高的方法，公知有使用具备棒型光学积分器的照明光学系统。通过使用棒型光学积分器，与棒内的内表面反射次数相应地形成的来自二次光源的照明光在棒射出端重叠，据此能够使棒射出面的照度分布均匀化。

但是，在具备棒型光学积分器的照明光学系统中，存在如下情况：由于光学系统的污染、偏心、减反射膜不均匀等各种原因，结果被照明面上的照度分布被观察到不均匀性。对于该课题，专利文献1公开了在与棒型光学积分器的射出面成为光学共轭关系的位置配置了与多个二次光源像对应地设置的多个光量调整部的结构。

但是，在专利文献1所公开的照明光学系统中，当决定了聚光于被照明面的角度分布(以下称为“有效光源分布”)时，被照明面上的照度分布校正量固定。因此，难以校正因减反射膜的成膜状态、装配精度等引起的各机体固有的照度不均匀性(以下称为“照度不均”)。另外，在长时间使用装置而光学元件劣化，照度不均匀随着时间发生了变化的情况下，需要适当更换调整部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-269114号

发明内容

根据本发明的一个方面，提供一种照明光学系统，使用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：光学积分器，配置在所述光源与所述被照明面之间；和光学滤波器，具有对入射至所述光学积分器的光的强度进行调整的调整部，所述光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器，所述光学滤波器包括：多个第一区域，在所述棒型光学积分器的射出端面形成相互相同朝向的像；和多个第二区域，在所述射出端面形成相对于所述像具有镜像的关系的像，所述调整部至少设置于所述第一区域，通过变更与所述照明光学系统的光轴垂直的方向上的所述调整部的位置来变更所述被照明面中的照度。

附图说明

图1是示出曝光装置的结构的图。

图2是示出调整部与二次光源的关系的示意图。

图3A是示出调整部与光学积分器射出端面的成像关系的图。

图3B是示出光学滤波器上的调整部的配置例的图。

图3C是示出光学滤波器上的调整部的配置例的图。

图4是说明光学滤波器的作用的图。

图5A是说明照度不均的校正方法的图。

图5B是说明照度不均的校正方法的图。

图5C是说明照度不均的校正方法的图。

图6是示出倾斜状的照度不均的校正步骤的流程图。

图7是说明光轴对称的照度不均的校正步骤的流程图。

图8A是说明光学滤波器的作用的图。

图8B是说明光学滤波器的作用的图。

图9A是说明照度不均的校正方法的图。

图9B是说明照度不均的校正方法的图。

图10A是说明光学滤波器的作用的图。