[发明专利]照明光学系统、光刻装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种照明光学系统，使用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：

光学积分器，配置在所述光源与所述被照明面之间；和

光学滤波器，具有对入射至所述光学积分器的光的强度进行调整的调整部，

所述光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器，

所述光学滤波器包括：多个第一区域，在所述棒型光学积分器的射出端面形成相互相同朝向的像；和多个第二区域，在所述射出端面形成相对于所述像具有镜像的关系的像，

所述调整部设置于多个所述第一区域，而不设置于多个所述第二区域，

以由来自设置于多个所述第一区域的所述调整部的光而形成在所述棒型光学积分器的射出端面的像、以及由来自多个所述第二区域的光而形成在所述棒型光学积分器的射出端面的像，对所述被照明面进行照明，

通过变更与所述照明光学系统的光轴垂直的方向上的所述调整部的位置来变更所述被照明面中的照度。

2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

还具有第一中继光学系统，该第一中继光学系统配置在所述光源与所述光学积分器之间，将来自所述光源的光引导到所述光学积分器，

所述第一中继光学系统包括：第一透镜，使来自光源的光成为平行光；和第二透镜，将通过该第一透镜成为平行光的光聚光于所述光学积分器的入射端面，

所述光学滤波器配置在所述第一透镜与所述第二透镜之间。

3.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

还具有测量部，该测量部测量所述被照明面的照度分布，

基于由所述测量部测量出的所述照度分布来变更所述光学滤波器的位置。

4.根据权利要求3所述的照明光学系统，其特征在于，

还具有控制部，该控制部控制所述光学滤波器的驱动，

所述控制部以使根据由所述测量部测量出的所述照度分布计算的照度不均收敛于容许范围内的方式，对所述光学滤波器的驱动进行反馈控制。

5.根据权利要求4所述的照明光学系统，其特征在于，

还具有第二中继光学系统，该第二中继光学系统配置在所述光学积分器与所述被照明面之间，将来自所述光学积分器的所述射出端面的光引导到所述被照明面，

所述第二中继光学系统包括第三透镜，该第三透镜使来自所述光学积分器的所述射出端面的光成为平行光，并且构成为能够在所述第二中继光学系统的光轴方向上移动，

所述控制部还以使根据由所述测量部测量出的所述照度分布计算的照度不均收敛于容许范围内的方式，对所述第三透镜的驱动进行反馈控制。

6.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

来自多个所述第一区域的光在所述棒型光学积分器的内表面反射而在所述棒型光学积分器的所述射出端面形成像。

7.一种照明光学系统，使用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：

光学积分器，配置在所述光源与所述被照明面之间；和

光学滤波器，具有对入射至所述光学积分器的光的强度进行调整的调整部，

所述光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器，

所述光学滤波器包括：多个第一区域，在所述棒型光学积分器的射出端面形成相互相同朝向的像；和多个第二区域，在所述射出端面形成相对于所述像具有镜像的关系的像，

所述调整部配置于多个所述第一区域的一部分和多个所述第二区域的一部分，

被设置于多个所述第一区域的一部分的所述调整部的数量与被设置于多个所述第二区域的一部分的所述调整部的数量相同，

以由来自设置于多个所述第一区域的所述调整部的光而形成在所述棒型光学积分器的射出端面的像、以及由来自设置于多个所述第二区域的调整部的光而形成在所述棒型光学积分器的射出端面的像，对所述被照明面进行照明，

通过所述第一区域的所述调整部调整的所述被照明面中的照度分布的特性与通过所述第二区域的所述调整部调整的所述被照明面中的照度分布的特性不同，

通过变更与所述照明光学系统的光轴垂直的方向上的所述调整部的位置来变更所述被照明面中的照度。