[发明专利]固态成像装置及其制造方法和电子设备在审

专利信息
申请号: 201780051732.5 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN109661727A 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 中食慎太郎;狭山征博 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G02B5/20;G02B5/22;H04N9/07
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 姚鹏;曹正建
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光学滤波 固态成像装置 像素 电子设备 红外截止滤波器 光电转换单元 可见光像素 像素区域 滤色器 混色 分隔 隔壁 制造 配置 应用
【权利要求书】:

1.一种固态成像装置,其包括布置在像素区域中的多个像素,其中,

每个所述像素都具有:

配置在光电转换单元上的第一光学滤波层;

配置在所述第一光学滤波层上的第二光学滤波层;和

用于针对各所述像素分隔所述第一光学滤波层的至少一部分的分隔壁,并且

至少一个所述像素中的所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成,而另一者由滤色器形成。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,

所述红外截止滤波器由添加了有机或无机颜色材料的有机材料形成。

3.根据权利要求2所述的固态成像装置,其中,

所述红外截止滤波器具有如下光谱特性:透光率在700nm或以上的波长区域中为20%或以下。

4.根据权利要求3所述的固态成像装置,其中,

所述红外截止滤波器具有如下光谱特性:700nm或以上的波长区域中存在最大吸收波长。

5.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,

所述红外截止滤波器也形成在所述像素区域以外的区域中。

6.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,

所述分隔壁由金属膜和Si氧化物膜中的至少一者形成。

7.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中,

所述分隔壁包括折射率等于或低于所述滤色器的折射率的有机树脂。

8.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中,

所述分隔壁包括含有填充物的有机树脂。

9.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中,

所述分隔壁的高度至少为100nm或以上。

10.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中,

所述像素还包括用于针对各所述像素分隔所述光电转换单元的其它分隔壁。

11.根据权利要求10所述的固态成像装置,其中,

所述其它分隔壁与所述分隔壁一体化地形成。

12.根据权利要求1所述的固态成像装置,所述固态成像装置仅包括可见光像素作为多个所述像素。

13.根据权利要求1所述的固态成像装置,所述固态成像装置包括可见光像素和红外光像素作为多个所述像素,其中,

所述可见光像素的所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层中的一者由红外截止滤波器形成,而另一者由滤色器形成。

14.根据权利要求13所述的固态成像装置,其中,

所述红外光像素的所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层均由透过红外光的滤色器形成。

15.根据权利要求14所述的固态成像装置,其中,

所述红外光像素中的两层所述滤色器具有如下光谱特性:透光率在400至700nm的波长区域中为20%或以下,且透光率在700nm或以上的波长区域中为80%。

16.根据权利要求15所述的固态成像装置,其中,

所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层是同一类型的滤色器。

17.根据权利要求15所述的固态成像装置,其中,

所述第一光学滤波层和所述第二光学滤波层是不同类型的滤色器。

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