[发明专利]粘合性结构体

说明书

本发明提供一种粘合性结构体，其是具备形成于基材上的碳纳米管聚集体的粘合性结构体，构成该碳纳米管聚集体的碳纳米管不易脱离。本发明的粘合性结构体具备基材、中间层和碳纳米管聚集体层，该碳纳米管聚集体由多个碳纳米管聚集体构成，该中间层为包含该碳纳米管和固定剂的层，该中间层的厚度为100nm以上。

技术领域

本发明涉及粘合性结构体。

背景技术

在半导体元件等的制造工序中，对材料、制造半成品、制品等(下文中亦称为被加工物)进行运送时，使用移动臂、移动台等运送基材对该被加工物进行运送(例如，参见专利文献1、2)。在进行这样的运送时，对于载置被加工物的部件(运送固定夹具)而言，要求其具有使得被加工物在运送中不偏移这样强的抓持力。另外，这样的要求伴随着制造工序高速化的要求而逐年提高。

然而，以往的运送固定夹具是通过树脂等弹性材料来保持被加工物，存在该弹性材料容易附着残留于被加工物的问题。另外，树脂等弹性材料的耐热性低，有在高温环境下其抓持力下降这样的问题。

若将陶瓷等材料用于运送固定夹具，则可防止被加工物的污染，另外，抓持力的温度依赖性降低。然而，由这样的材料构成的运送固定夹具本质上抓持力低，有即便在常温下也无法充分保持被加工物的问题。

另外，作为在高温环境下保持被加工物的方法，可举出减压吸附的方法、利用运送固定夹具的形状固定被加工物的方法(例如，卡紧、镗孔固定等)等。然而，减压吸附的方法仅在大气氛围下有效，无法在CVD工序等中的真空条件下采用。另外，在利用运送固定夹具的形状固定被加工物的方法中，存在因被加工物与运送固定夹具的接触而导致被加工物受到损伤、产生颗粒等问题。

作为解决如上所述的问题的方法，可考虑将具备碳纳米管聚集体的粘合性结构体用于运送固定夹具。碳纳米管聚集体被形成于基材上，上述粘合性结构体由该基材和碳纳米管聚集体构成。然而，在将上述粘合性结构体用于运送固定夹具的情况下，存在构成碳纳米管聚集体的碳纳米管从基材脱离这样的问题。特别地，在供于高速运送的运送固定夹具中，碳纳米管的脱离问题变得显著。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-351961号公报

专利文献2：日本特开2013-138152号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题在于提供一种粘合性结构体，其是具备形成于基材上的碳纳米管聚集体的粘合性结构体，构成该碳纳米管聚集体的碳纳米管不易脱离。

用于解决课题的手段

本发明的粘合性结构体具备基材、中间层和碳纳米管聚集体层，该碳纳米管聚集体由多个碳纳米管聚集体构成，该中间层为包含该碳纳米管和固定剂的层，该中间层的厚度为100nm以上。

在一个实施方式中，上述粘合性结构体中，在上述基材与上述中间层之间还具备固定剂层。

在一个实施方式中，上述固定剂层的厚度为1μm以上。

在一个实施方式中，上述固定剂层由包含无机物的粘接剂构成。

在一个实施方式中，上述包含无机物的粘接剂为有机溶剂系陶瓷粘接剂。

在一个实施方式中，上述无机物为包含选自由Al、Si、Ti、K组成的组中的至少1种元素的无机化合物。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种粘合性结构体，其是具备形成于基材上的碳纳米管聚集体的粘合性结构体，构成该碳纳米管聚集体的碳纳米管不易脱离。

附图说明