[发明专利]检查设备和检查方法

权利要求书

1.一种成像传感器，包括：

多个波长检测区域，每个波长检测区域包括不同的多个像素，所述多个波长检测区域至少包括第一波长检测区域，其中第一波长检测区域中的多个像素被配置成

检测第一预定波长范围内的光，以及

检测在不同的预定偏振方向的光；和

信号处理电路，被配置成基于由所述多个波长检测区域的检测第一预定波长范围内的在不同的预定偏振方向的光的彼此相邻的多个像素检测到的检测值，针对每个像素集检测多个偏振方向的光以获得第一预定波长范围的分割图像，根据输入图像数据提取指示检查对象的表面上的光的偏振状态的偏振参数，基于从中除去镜面反射分量的对于各个波长范围分割的分割图像数据、指示从各个波长范围的分割图像获得的特征点的坐标的坐标数据、和指示根据偏振参数获得的图像上的特征点的坐标的坐标数据，进行以致相邻分割图像之间公共的拍摄部分被相互重叠的合成，以生成比通过一次曝光可获得的图像更大的图像。

2.按照权利要求1所述的成像传感器，其中所述多个波长检测区域还包括第二波长检测区域，所述第二波长检测区域的多个像素被配置成检测第二预定波长范围内的光，以及

检测在不同的预定偏振方向的光，

所述第二预定波长范围不同于所述第一预定波长范围。

3.按照权利要求2所述的成像传感器，其中

第一波长检测区域和第二波长检测区域彼此相邻。

4.按照权利要求1所述的成像传感器，其中

所述多个像素包括多组像素，所述多组像素中的一组像素中的每个像素被配置成检测在预定偏振方向的光，所述多组像素被排列成在第一波长检测区域内重复。

5.按照权利要求1所述的成像传感器，其中所述多个波长检测区域中的每个波长检测区域是以沿第一方向延长的矩形形状形成的，以及

当沿垂直于第一方向的第二方向观察时，所述多个波长检测区域中的每个波长检测区域被排列在一个或多个点处。

6.按照权利要求5所述的成像传感器，其中所述第二方向是相对于所述检查对象的移动方向。

7.按照权利要求1所述的成像传感器，其中当沿行方向和列方向观察时，所述多个波长检测区域中的每个波长检测区域被排列在一个或多个点处。

8.按照权利要求1所述的成像传感器，其中所述多个波长检测区域中的每个波长检测区域包括至少16个像素的阵列，所述至少16个像素的阵列包括至少4行像素和至少4列像素。

9.按照权利要求8所述的成像传感器，其中所述至少16个像素的阵列被配置成检测至少3个或更多个偏振方向的光。

10.按照权利要求1所述的成像传感器，其中所述多个波长检测区域中的第一个波长检测区域被配置成检测红色波长范围内的光，所述多个波长检测区域中的第二个波长检测区域被配置成检测绿色波长范围内的光，所述多个波长检测区域中的第三个波长检测区域被配置成检测蓝色波长范围内的光，以及所述多个波长检测区域中的第四个波长检测区域被配置成检测近红外波长范围内的光。

11.按照权利要求10所述的成像传感器，还包括：

被配置成检测所有波长范围中的非偏振光的检测区域。

12.按照权利要求10所述的成像传感器，还包括：

包含多个像素的检测区域，其中多个像素中的第一像素被配置成检测红色波长范围内的非偏振光，多个像素中的第二像素被配置成检测绿色波长范围内的非偏振光，以及多个像素中的第三像素被配置成检测蓝色波长范围内的非偏振光，

该多个像素被排列成Bayer阵列。