[发明专利]发光组件以及发光组件的制造方法有效
申请号: | 201780045605.4 | 申请日: | 2017-06-28 |
公开(公告)号: | CN109643744B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 石崎顺也;古屋翔吾;铃木金吾;池田淳;铃木谦一;山田雅人 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/22 |
代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人: | 许天易 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 组件 以及 制造 方法 | ||
本发明为一种发光组件,包括由化合物半导体所构成的发光部、电极、以及保护膜。该发光组件的特征在于覆盖该发光组件的至少一部分的该保护膜的表面形成有Rz超过5nm的凹凸。由于此结构,便能不使树脂密接性降低,并在进行树脂密封时抑制树脂剥离的发生。
技术领域
本发明涉及由化合物半导体所构成的发光组件以及其制造方法。
背景技术
化合物半导体,例如由AlGaInP所构成的发光组件(LED),为了防止因湿度或制程中的异物附着所导致的劣化或漏电,而形成有SiO2保护膜(例如,参考专利文献1)。
尤其,为了保护发光层侧面,使用的SiO2膜以成形性高的材料及反应系统来形成为合适,而以使用了TEOS及氧的等离子体CVD来形成。如此一来,能良好地包覆发光层侧面,充分达到作为保护膜的功能。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本特开2007-266646号公报
发明内容
[发明所欲解决的问题]
另一方面,由于上述的SiO2膜的成形性高,且也同样地会包覆作为光提取面的经粗糙化的表面的缘故,而亦有凹凸(Rz)变小的效果。由于SiO2膜表面的凹凸变小,包覆树脂时的锚固效果变小,使得树脂密接性降低,而在进行树脂密封时,既有技术在高湿度环境下会有发生树脂剥离的问题。
鉴于上述问题点,本发明的目的在于提供一种发光组件及发光组件的制造方法,不使树脂密接性降低,并于进行树脂密封时,在高湿度环境下抑制树脂剥离的发生。
〔解决问题的技术手段〕
为了达成上述目的,本发明提供一种发光组件,包含由化合物半导体所构成的发光部、电极、以及保护膜,其中于覆盖该发光组件的至少一部分的该保护膜的表面,形成有Rz超过5nm的凹凸。
如此一来,通过于保护膜的表面形成的Rz超过5nm的凹凸,包覆树脂时的锚固效果变大,使得树脂密接性增大,而得以在进行树脂密封时抑制树脂剥离的发生。
此时,该保护膜以SiO2为佳。
作为保护膜,能合适地使用SiO2。
此时,该发光组件的表面的至少一部分为经粗糙化者为佳。
通过如此构成,便能提升发光组件的发光效率。
此外,本发明提供一种发光组件的制造方法,该发光组件包含由化合物半导体所构成的发光部、电极、以及保护膜,其中通过于覆盖该发光组件的至少一部分的该保护膜的SiO2膜上,透过以氢氟酸与1~4价的无机酸或有机酸所混合成的液体进行磨砂处理,而于该SiO2膜的表面形成凹凸。
此种方法能制造一种发光组件,该发光组件能比较简便地于SiO2膜表面形成凹凸,使得树脂密接性增大,而得以在进行树脂密封时抑制树脂剥离的发生。
此时,作为该无机酸,使用硫酸、盐酸、磷酸之中的至少其中一种,以及作为该有机酸,使用丙二酸、醋酸、柠檬酸、酒石酸、苹果酸之中的至少其中一种为佳。
作为无机酸或有机酸,若使用如同上述者,将能更确实地于SiO2膜表面形成凹凸。
[对照现有技术的功效]
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