[发明专利]发光组件以及发光组件的制造方法有效
| 申请号: | 201780045605.4 | 申请日: | 2017-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN109643744B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | 石崎顺也;古屋翔吾;铃木金吾;池田淳;铃木谦一;山田雅人 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/22 |
| 代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人: | 许天易 |
| 地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 发光 组件 以及 制造 方法 | ||
1.一种发光组件,包括由化合物半导体所构成的发光部、电极、以及保护膜,
其中在该发光部的表面的至少一部分被粗糙化的同时,于覆盖该发光组件的至少一部分,且直接包覆于该发光部的表面的该保护膜的表面,形成有Rz超过5nm的凹凸。
2.如权利要求1所述的发光组件,其中该保护膜为SiO2。
3.一种发光组件的制造方法,包括由化合物半导体所构成的发光部、电极、以及保护膜,
其中在该发光部的表面的至少一部分被粗糙化的同时,于包覆该发光组件的至少一部分且直接包覆于该发光部的表面的该保护膜的SiO2膜上,透过以氢氟酸与1~4价的无机酸或有机酸所混合成的液体进行磨砂处理,而于该SiO2膜的表面形成凹凸。
4.如权利要求3所述的发光组件的制造方法,其中作为该无机酸,使用硫酸、盐酸、磷酸之中的至少其中一种,以及作为该有机酸,使用丙二酸、醋酸、柠檬酸、酒石酸、苹果酸之中的至少其中一种。
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