[发明专利]涂布器和涂布装置

说明书

提供涂布器，其具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

技术领域

本发明涉及喷出涂布液的涂布器和具有该涂布器的涂布装置。

背景技术

作为用于对玻璃基板或膜等被涂布部件涂布涂布液的装置，例如已知有专利文献1所述的涂布装置，该涂布装置具备涂布器，该涂布器形成有喷出涂布液的缝。该涂布装置除了所述涂布器之外，还具有：送液单元，其对该涂布器输送涂布液；以及移动单元，其使涂布器与被涂布部件相对地移动。

涂布器构成为在一个方向(以下称为Y轴方向)上较长，缝也形成为沿着Y轴方向较长。在该涂布器中还设置有：提供口，其从所述送液单元提供涂布液；以及在Y轴方向上较长的歧管(腔室)，其与该提供口连接，缝的一端侧(下游侧)作为与被涂布部件对置的喷出口，缝的另一端侧(上游侧)与歧管连接。

所述提供口与歧管在Y轴方向的中央部连接，从该提供口被提供至歧管的涂布液朝向Y轴方向的两侧扩宽(分散)，在歧管内临时贮存之后(成为充满状态之后)通过缝，并从喷出口对被涂布部件喷出。一边通过所述移动单元使涂布器与被涂布部件相对地移动一边进行该喷出的动作，由此，能够在被涂布部件上形成涂膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-246464号公报

发明内容

发明所要解决的课题

如上所述，提供口与歧管在Y轴方向的中央部连接。因此，特别是当歧管在Y轴方向上变长时，有时从提供口流入至歧管的涂布液无法充分扩宽至Y轴方向的两个端部。在该情况下，容易在歧管的Y轴方向的两个端部滞留涂布液，歧管端部的液置换性变差。当在涂布器内液置换性较差时，涂布液有可能产生粘性变高或劣化等变性，由于该原因，有时给形成于被涂布部件的涂膜带来不良影响。

因此，考虑通过改变歧管的形状而提高液置换性。但是，当改变歧管的形状时，预想到涂布液在歧管中的流动的情况会因此而发生变化。当涂布液在歧管中的流动的情况发生变化时，担心该变化会给缝中的涂布液流动带来影响，从而使形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。例如，当为了使歧管的Y轴方向的两个端部的液置换性优化而采用用于提高该两个端部的流速的结构时，会产生如下的问题：歧管内的流速发生变化，从而对从缝喷出的涂布液的流量带来影响，所形成的膜厚的均匀性受损。

因此，本发明的目的在于，使涂布器的歧管的端部的液置换性优化，并且防止形成于被涂布部件的涂膜的膜厚精度降低。

用于解决课题的手段

本发明的涂布器具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。