[发明专利]涂布器和涂布装置

权利要求书

1.一种涂布器，其具有：

提供口，其提供涂布液；

缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；

多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及

节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，

所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，

关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，

在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

2.根据权利要求1所述的涂布器，其中，

所述节流流路的所述端部处的流路长度与所述中央部处的流路长度相同。

3.根据权利要求2所述的涂布器，其中，

所述上游侧歧管的上端的高度沿着所述一个方向是恒定的，并且该上游侧歧管的高度方向的尺寸在所述一个方向的全长范围内是恒定的。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的涂布器，其中，

在所述多个歧管的各个中，关于与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于所述一个方向的中央部处的该截面积。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的涂布器，其中，

在所述歧管设置有大于等于三个、所述节流流路设置有比该歧管的数量少一个的数量的情况下，

在该节流流路的各个中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。

6.一种涂布装置，其具有：

涂布器，其对被涂布部件喷出涂布液；

送液单元，其对所述涂布器输送涂布液；以及

移动单元，其使所述涂布器与所述被涂布部件相对地移动，

所述涂布器是权利要求1～5中的任意一项所述的涂布器。