[发明专利]检查辅助具及检查装置及探针

说明书

本发明提供一种检查辅助具及检查装置及探针，所述的检查辅助具(3)包括：电极(34a)；探针(Pr)，具有后端部(P2)及前端部(P1)；及支撑构件(31)，支撑探针(Pr)；探针(Pr)是包含：具有导电性的外侧筒状体(Pa)；及具有导电性的内侧筒状体(Pb)，所述内侧筒状体(Pb)是贯穿于外侧筒状体(Pa)的筒内；在外侧筒状体(Pa)形成有朝轴方向伸缩并且弹推后端部(P2)的外侧弹簧部(SO1、SO2)；在内侧筒状体(Pb)形成有朝轴方向伸缩的内侧弹簧部(SI1、SI2)；内侧筒状体(Pb)的一端为前端部(P1)，从外侧筒状体(Pa)的一端突出；支撑构件(31)是以通过外侧弹簧部(SO1、SO2)的弹推力使后端部(P2)接触电极(34a)的方式保持外侧筒状体(Pa)。

技术领域

本发明涉及一种用以接触检查对象物的检查辅助具、及具备所述检查辅助具的检查装置及探针。

背景技术

以往，已知有一种检查装置用的探针(probe)、及使用所述探针的检查辅助具，所述探针是于在中间位置形成有弹簧部的圆筒构件上贯穿有圆柱状的棒状构件(例如参照专利文献1)。此探针是以棒状构件从圆筒构件突出的方式，在圆筒构件的前端附近，将棒状构件固定于圆筒构件。当圆筒构件的后端部接触电极部，且棒状构件的前端部抵接于检查对象物时，圆筒构件的后端部即会被弹簧部的弹性复原力弹推至电极部，而棒状构件的前端部被弹推至检查对象物，而使探针得以稳定地接触电极部与检查对象物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2013-53931号公报

发明内容

然而，依据所述的检查辅助具，当进行检查时，在使探针抵接于检查对象物的瞬间，弹簧部的弹推力会施加于电极与检查对象物双方。由于此时的接触压力的变动，不仅是为了检查而接触的检查对象物与探针之间的接触变得不稳定，而且电极与探针之间的接触也会有变得不稳定之虞。

本发明的目的是在于提供一种易于提升探针的接触稳定性的检查辅助具及检查装置。

解决问题的技术手段

本发明的检查辅助具，是包括：电极，其是用于电性连接于检查处理部，所述检查处理部是用以电性检查成为检查对象的对象物；探针，其是大致棒状，具有接触所述电极的后端部及用以接触针对所述对象物设定的检查点的前端部；以及支撑构件，其是支撑所述探针；所述探针是包含：具有导电性的筒状的外侧筒状体；及具有导电性的筒状的内侧筒状体，所述内侧筒状体是贯穿于所述外侧筒状体的筒内；在所述外侧筒状体形成有外侧弹簧部，所述外侧弹簧部是朝所述外侧筒状体的轴方向伸缩并且弹推所述后端部；在所述内侧筒状体形成有内侧弹簧部，所述内侧弹簧部是朝所述内侧筒状体的轴方向伸缩；所述内侧筒状体的一端被设为所述前端部，所述前端部是从所述外侧筒状体的一端突出；所述支撑构件是以通过所述外侧弹簧部的弹推力使所述后端部接触所述电极的方式保持所述外侧筒状体。

此外，本发明的检查装置，是包括：所述的检查辅助具；及所述检查处理部；所述检查处理部是根据从所述电极所获得的电信号而进行所述对象物的检查。