[发明专利]检查辅助具及检查装置及探针

权利要求书

1.一种检查辅助具，是包括：

电极，其是用于电性连接于检查处理部，所述检查处理部是用以电性检查成为检查对象的对象物；

探针，其是大致棒状，具有接触所述电极的后端部及用以接触针对所述对象物设定的检查点的前端部；以及

支撑构件，其是支撑所述探针；

所述探针是包含：具有导电性的筒状的外侧筒状体；

及具有导电性的筒状的内侧筒状体，所述内侧筒状体是贯穿于所述外侧筒状体的筒内；

在所述外侧筒状体形成有外侧弹簧部，所述外侧弹簧部是朝所述外侧筒状体的轴方向伸缩并且弹推所述后端部；

在所述内侧筒状体形成有内侧弹簧部，所述内侧弹簧部是朝所述内侧筒状体的轴方向伸缩；

所述内侧筒状体的一端被设为所述前端部，所述前端部是从所述外侧筒状体的一端突出；

所述支撑构件是以通过所述外侧弹簧部的弹推力使所述后端部接触所述电极的方式保持所述外侧筒状体，

所述探针还包括具有导电性的棒状的中心导体，所述中心导体是贯穿于所述内侧筒状体的筒内；

所述中心导体的一端被设为所述后端部，所述后端部是从与所述内侧筒状体的所述前端部相反侧的端部突出；

所述中心导体是在所述内侧筒状体中的较所述内侧弹簧部更靠所述后端部侧的位置与所述内侧筒状体连接。

2.一种检查辅助具，是包括：

电极，其是用于电性连接于检查处理部，所述检查处理部是用以电性检查成为检查对象的对象物；

探针，其是棒状，具有接触所述电极的后端部及用以接触针对所述对象物设定的检查点的前端部；以及

支撑构件，其是支撑所述探针；

所述探针是包含：具有导电性的筒状的外侧筒状体；

及具有导电性的筒状的内侧筒状体，所述内侧筒状体是贯穿于所述外侧筒状体的筒内；

在所述外侧筒状体形成有外侧弹簧部，所述外侧弹簧部是朝所述外侧筒状体的轴方向伸缩并且弹推所述后端部；

在所述内侧筒状体形成有内侧弹簧部，所述内侧弹簧部是朝所述内侧筒状体的轴方向伸缩；

所述内侧筒状体的一端被设为所述前端部，所述前端部是从所述外侧筒状体的一端突出；

所述支撑构件是以通过所述外侧弹簧部的弹推力使所述后端部接触所述电极的方式保持所述外侧筒状体，

所述外侧筒状体的另一端是被设为所述后端部；

所述外侧筒状体与所述内侧筒状体是在所述外侧筒状体中的较所述外侧弹簧部更靠所述后端部侧的位置与所述内侧筒状体中的较所述内侧弹簧部更靠所述后端部侧的位置彼此连接。

3.根据权利要求1或2所述的检查辅助具，其中，

所述电极的与所述后端部接触的面是大致平坦；

所述后端部是具有扩展成面状的大致平坦的平坦面，所述平坦面是与所述电极接触。

4.根据权利要求1或2所述的检查辅助具，其中，

所述对象物是具有大致平坦的对象物面；

所述检查点是以从所述对象物面突起的方式突设；

所述支撑构件是具有：相向面，用以与所述对象物面相对向配置；

及突起部，从所述相向面突出成能够与所述对象物面产生干涉；

所述前端部是从设于所述相向面的开口部突出；

所述突起部从所述相向面突出的长度是较所述前端部从所述相向面突出的长度与所述检查点从所述对象物面突出的长度的合计更短。

5.一种检查装置，是包括：

权利要求1至4中任一项所述的检查辅助具；

及所述检查处理部，所述检查处理部是根据从所述电极所获得的电信号而进行所述对象物的检查。