[发明专利]带有透明电极的压电薄膜和压力传感器在审
| 申请号： | 201780033737.5 | 申请日： | 2017-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN109219895A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 拝师基希;矢野孝伸;别府浩史;木曽宪俊;梨木智刚 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;B32B27/30;C08J7/04;G01L1/16;G06F3/041;H01L41/113;H01L41/193 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电薄膜 透明电极 压电性 氟树脂 基材薄膜 偏氟乙烯 三氟氯乙烯 压力传感器 溶液涂布 三氟乙烯 总透光率 聚合物 层叠体 共聚物 雾度 | ||
1.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：
包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及
在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。
2.根据权利要求1所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。
3.根据权利要求1所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。
4.根据权利要求3所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2透明电极与所述第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述具有压电性的涂层与所述第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
6.根据权利要求5所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的厚度为0.5～10μm，光学调整层的厚度为80～160nm，第1透明电极的厚度为20nm以上。
7.根据权利要求5或6所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的折射率为1.40～1.50，光学调整层的折射率为1.50～1.70，第1透明电极的折射率为1.90～2.10。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
9.根据权利要求1～7中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述第1基材薄膜或第2基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层防粘连层。
10.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：
包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及
在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。
11.根据权利要求10所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。
12.根据权利要求10所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。
13.根据权利要求12所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2透明电极与所述第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
14.根据权利要求10～13中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
15.根据权利要求10～13中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
16.根据权利要求12所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2基材薄膜的、与所述第2透明电极处于相反侧的表面具备至少1层防粘连层。
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