[发明专利]热电转换装置及其制造方法

说明书

本发明涉及热电转换装置及其制造方法。该热电转换装置(10)的制造方法在第一绝缘体(11)的第一导通孔(101)中填充第一导电性浆料(131)。在第二绝缘体(12)的第三导通孔(103)中填充第二导电性浆料(141)。接下来，使第一导电性浆料从第一绝缘体的第一导通孔突出的部分穿通第二绝缘体的第四导通孔(104)。使第二导电性浆料从第二绝缘体的第三导通孔突出的部分穿通第二导通孔(102)。接下来，依次配置具有背面布线图案(121)的背面保护部件(120)、第二绝缘体、第一绝缘体、具有表面布线图案(111)的表面保护部件(110)，从而形成层叠体。接下来，将该层叠体在层叠方向上进行加压、加热。

技术领域

本公开涉及热电转换装置以及其制造方法。

背景技术

以往，已知一种形成为薄的板状并输出与在厚度方向的一个面和另一个面之间流动的热通量相应的信号的热电转换装置。对于该热电转换装置的制造方法，在专利文献1中有记载。

专利文献1所记载的热电转换装置的制造方法如下。在本制造方法中，首先，在构成为包含热塑性树脂的绝缘基材上设置多个导通孔和多个空隙。然后，对该多个导通孔填充具有合金粉末以及有机溶剂的导电性浆料。接下来，在绝缘基材的一个面配置具有与多个导电性浆料的一端彼此接触的表面布线图案的表面保护部件。然后，在绝缘基材的另一个面配置具有与多个导电性浆料的另一端彼此接触的背面布线图案的背面保护部件，从而形成层叠体。接下来，利用真空冲压机进行在层叠方向上将层叠体一边加压一边加热的一体化工序。这样，在专利文献1所记载的热电转换装置的制造方法中，通过该一体化工序，导电性浆料进行固相烧结，形成多个导电体。而且，在本制造方法中，导电体、表面布线图案以及背面布线图案被电连接，并且绝缘基材、表面保护部件以及背面保护部件被压接。

在该制造方法中，在进行上述的一体化工序时，构成绝缘基材的热塑性树脂流入空隙，绝缘基材的厚度变薄。由此，由冲压机对导电性浆料高效地施加载荷。因此，在本制造方法中，使导电性浆料进行固相烧结来形成导电体，并且能够使该导电体、表面布线图案以及背面布线图案电连接。

专利文献1：日本特开2014－7408号公报

专利文献1所记载的制造方法中使用的绝缘基材构成为包含由于进行一体化工序时的加热而能够流入空隙的热塑性树脂。即，构成绝缘基材的树脂使用具有比进行一体化工序时的加热温度低的熔点的热塑性树脂。因此，通过本制造方法制造出的热电转换装置难以在比该热塑性树脂的熔点高的温度环境下使用。因此，期望一种由具有能够在较高的温度环境下使用的高熔点的热塑性树脂构成绝缘基材的热电转换装置的制造方法。

或者，期望一种由热固性树脂来构成绝缘基材的热电转换装置的制造方法。

然而，在由几乎不流动并具有高熔点的热塑性树脂或者热固性树脂构成绝缘基材的情况下，在进行一体化工序时，绝缘基材的厚度不会变薄。因此，在现有的制造方法中，难以由冲压机对导电性浆料高效地施加载荷。因此，需要开发一种关于热电转换装置的新的制造方法。

发明内容

本公开的目的在于提供耐热性高的热电转换装置的制造方法。另外，本公开的目的在于提供耐热性高的热电转换装置。

作为本公开的技术的一个方式的热电转换装置的制造方法包括第一、第二以及第三形成工序、第一以及第二填充工序、配置工序、第一以及第二准备工序和压接工序。

在第一形成工序(S10)中，准备板状的第一绝缘体11，并对第一绝缘体形成第一导通孔101以及第二导通孔102。

在第二形成工序(S20)中，准备板状的第二绝缘体12，并对第二绝缘体形成第三导通孔103以及第四导通孔104。

在第一填充工序(S30)中，将第一导电性浆料填充至第一导通孔，以使具有合金粉末以及溶剂的第一导电性浆料131从第一导通孔突出成大于第二绝缘体的厚度。