[发明专利]表面改性设备

说明书

问题：为了能够直接从放电电极释放气体并使其结构简单。方案：电极室C中的放电电极E由长度等于或大于薄膜F的宽度的一对电极构件8和9形成。另外，一对电极构件8和9设置成彼此面对，以便将支撑构件4夹在其间，所述支撑构件具有与电极构件几乎相同的长度；在一对电极构件8和9彼此面对的部分中形成一个间隙；该间隙在放电电极的顶端开口，以便用作气体通道15。同时，在上述支撑构件4中，在其纵向上形成多个气体引导孔5，并且气体引导孔与气体供应系统连通。

技术领域

本发明涉及一种表面改性装置，其使放电能量作用在处理基材(例如薄膜等)的表面上，以改性基材表面。

背景技术

这种类型的表面改性装置包括安装在电极室内的放电电极和面向放电电极放置的处理辊。并且，根据预期的表面改性，向电极室供给替换气体。然后，当电极室保持在替换气体的气氛中时，高频电压施加到放电电极上，以在放电电极和处理辊之间产生电晕放电。上述通过电晕放电的放电能量用于改性沿着处理辊转移的薄膜等的表面。

并且，在上述电晕放电过程中产生的等离子体的数量和质量根据电极室中的替换气体的种类和/或浓度而变化。如果等离子体的数量和/或质量变化，则这对薄膜等的表面改性具有不利影响。因此，替换气体的种类和浓度的管理是重要的，但这是微不足道的，因为只要确保适当的选择，可预先确定替换气体的种类。

然而，即使在表面改性过程中，气体浓度也容易受到流入电极室的空气的影响，等等。如上所述，气体浓度的变化将改变等离子体的数量和/或质量，使得不可能实现预期的表面改性。

此外，电极室必须具有与通过处理辊转移的薄膜的尺寸相应的尺寸。因为，例如，一些薄膜的宽度达到10米，根据该薄膜的宽度，电极室的体积将非常大。为了在如此大体积的电极室内保持恒定的气体浓度，需要增加替换气体的供给量。这将导致生产效率的降低。

为了解决这个问题，专利文献1和2公开了一种用于将替换气体直接供给到局部区域的方法，该局部区域是放电电极和处理辊之间的放电区域。例如，专利文献1中公开的装置配置成直接从放电电极供给替换气体。以这种方式，可以将替换气体直接供给到局部区域，该局部区域是放电电极和处理辊之间的放电区域。因此，替换气体可以容易地在局部区域保持恒定的浓度。此外，由于不需要用替换气体填充整个电极室，这导致替换气体的使用量相应减少。

并且，专利文献1中公开的装置的放电电极由具有大致对应于薄膜宽度的长度的块形成，并且放电电极具有在块的长度方向上形成的狭缝，所述狭缝连接到管道以供给替换气体。因此，当将替换气体供给到管道时，气体从狭缝直接供给到放电区域。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本审查专利申请公开号06-002830；专利文献2：日本未审查专利申请公开号2001-1131313

发明内容

技术问题

在上述专利文献1中公开的表面改性装置中，如果放电电极具有增加的长度以适应薄膜宽度，则需要形成对应于该长度的狭缝。然而，狭缝的长度越长，保持宽度和深度恒定就越困难。如果狭缝的宽度和深度不恒定，则替换气体的喷射压力变化，进而等离子体的数量和质量变化，导致出现损害表面改性的稳定性的问题。

此外，出现了对于加工精度的需求，以形成具有精确宽度和精确深度的狭缝，以保持表面改性的稳定性。因此，由块形成的放电电极的生产率降低。此外，由于放电电极由块形成，因此在块的一个端部形成角部。如果存在这样的角部，则在角部部分集中发生放电。因此，角部部分显示出比其他部分更快的劣化率，因此产生了降低放电电极以及用于供给气体的通道系统的寿命的问题。本发明的目的是提供一种表面改性装置，以实现更高的生产率。

问题的解决方案