[发明专利]表面改性设备

权利要求书

1.一种表面改性装置，包括放电电极，所述放电电极放置在电极室中并且长度等于或大于处理基材的宽度，还包括转移所述处理基材的处理辊，所述放电电极面对所述处理基材，在所述放电电极和所述处理辊之间产生放电，其中

所述放电电极包括一对电极构件，每个所述电极构件的长度大致与所述处理基材的宽度相匹配，

所述一对电极构件隔着放在所述电极构件之间的支撑构件彼此面对，所述支撑构件的长度近似等于所述电极构件的长度，

在所述电极构件之间的面对面区域中形成裂缝，以用作气体通道，

所述气体通道具有通向所述放电电极和所述处理辊之间的面对面区域的远端，以及

所述支撑构件在支撑构件的纵向方向上具有在其中形成的多个气体引导孔，所述多个气体引导孔与替换气体供给系统连通，以及

所述气体引导孔与所述气体通道连通。

2.根据权利要求1所述的表面改性装置，还包括歧管，所述歧管大致平行于所述支撑构件地放置并且在所述歧管的纵向方向上具有在其中形成的多个小孔或狭缝，其中所述小孔或狭缝与所述气体引导孔连通。