[发明专利]基板温度监控

权利要求书

1.一种基板支撑组件，包括：

支撑板，所述支撑板具有被配置为支撑基板的顶表面；和

基板温度监控系统，所述基板温度监控系统设置在所述基板支撑板中，所述基板温度监控系统被配置为从所述基板的底表面测量所述基板的温度，所述基板温度监控系统包括：

窗口，所述窗口一体地形成在所述支撑板的顶表面中；

主体，所述主体穿过所述底表面嵌入所述支撑板中，所述主体具有内部通道；和

温度传感器，所述温度传感器设置在所述窗口下方的所述内部通道中，所述温度传感器被配置为测量所述基板的温度。

2.如权利要求1所述的基板支撑组件，进一步包括光纤管，所述光纤管设置在所述内部通道中，所述光纤管耦接到所述温度传感器。

3.如权利要求2所述的基板支撑组件，其中所述光纤管将所述温度传感器与PID控制器耦接。

4.一种基板支撑组件，包括：

支撑板，所述支撑板具有被配置为支撑基板的顶表面；和

基板温度监控系统，所述基板温度监控系统设置在所述支撑板中，所述基板温度监控系统被配置为从所述基板的底表面测量所述基板的温度，所述基板温度监控系统包括：

主体，所述主体限定内部空腔；

孔径螺母，所述孔径螺母设置在所述主体中；

透镜，所述透镜设置在所述主体中并由所述孔径螺母支撑；

光纤管，所述光纤管设置在所述内部空腔中，与所述透镜间隔开，所述光纤管被配置为通过所述透镜从所述基板的所述底表面接收红外线；和

控制器，所述控制器与所述光纤管通信，所述控制器被配置为基于接收到的红外线而确定所述基板的温度。

5.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述透镜是平凸透镜。

6.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述孔径螺母包括与所述透镜对准的锥形孔隙。

7.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述支撑板进一步包括螺纹孔，并且其中所述基板温度监控系统设置在所述螺纹孔的下方，使得所述透镜与所述螺纹孔对准。

8.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述孔径螺母由低发射率材料形成。

9.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述光纤管设置在所述主体中由所述透镜投影图像的位置处。

10.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述孔径螺母定位在距所述透镜一定距离处，所述距离小于所述透镜的焦距的距离。

11.如权利要求4所述的基板支撑组件，进一步包括：

多个O形环，所述多个O形环定位在所述透镜的下方，所述多个O形环被配置为密封所述光纤管并防止所述光纤管受清洁剂的侵蚀。

12.一种处理腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体包括顶壁、侧壁和底壁，所述顶壁、所述侧壁和所述底壁限定所述腔室主体中的处理区域；和

基板支撑组件，所述基板支撑组件设置在所述处理区域中，所述基板支撑组件包括：

支撑板，所述支撑板具有被配置为支撑基板的顶表面；和

基板温度监控系统，所述基板温度监控系统设置在所述支撑板中，并且被配置为从所述基板的底表面测量所述基板的温度。

13.如权利要求12所述的处理腔室，其中所述基板温度监控系统包括：

窗口，所述窗口一体地形成在所述支撑板的顶表面中；

主体，所述主体穿过所述底表面嵌入所述支撑板中，所述主体限定内部通道；和

温度传感器，所述温度传感器设置在所述窗口下方的所述内部通道中，所述温度传感器被配置为测量所述基板的温度。