[发明专利]磁传感器有效

专利信息
申请号: 201780032067.5 申请日: 2017-05-22
公开(公告)号: CN109154640B 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 潮田健太郎;龟野诚;林承彬;大川秀一 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: G01R33/09 分类号: G01R33/09;G01R33/02;H01L43/08
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;尹明花
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 传感器
【权利要求书】:

1.一种磁传感器,其特征在于,

具备:传感器基板;第一外部磁性体、第二外部磁性体及第三外部磁性体;设置于所述传感器基板上的第一磁性体层、第二磁性体层及第三磁性体层;和设置于所述传感器基板上的桥接的第一磁敏元件、第二磁敏元件、第三磁敏元件及第四磁敏元件,

所述第一磁性体层包含:第一主区域;和随着远离所述第一主区域而宽度变窄的第一收敛区域、第二收敛区域、第三收敛区域及第四收敛区域,

所述第二磁性体层包含:第二主区域;和随着远离所述第二主区域而宽度变窄的第五收敛区域及第七收敛区域,

所述第三磁性体层包含:第三主区域;和随着远离所述第三主区域而宽度变窄的第六收敛区域及第八收敛区域,

所述第一收敛区域、所述第二收敛区域、所述第三收敛区域及所述第四收敛区域的端部与所述第五收敛区域、所述第六收敛区域、所述第七收敛区域及所述第八收敛区域的端部分别隔着第一间隙、第二间隙、第三间隙及第四间隙而相对,

所述第一磁敏元件、所述第二磁敏元件、所述第三磁敏元件及所述第四磁敏元件分别配置于由所述第一间隙、所述第二间隙、所述第三间隙及所述第四间隙形成的磁路上,

所述第一外部磁性体以覆盖所述第一主区域的方式设置,

第一方向上的所述第一外部磁性体的宽度比所述第一主区域的所述第一方向上的宽度宽,由此,所述第一主区域的所述第一方向上的全部宽度被所述第一外部磁性体覆盖,

其中,所述第一方向是所述第一~第四间隙的延伸方向,

所述第二外部磁性体设置于所述第二主区域的附近,

所述第三外部磁性体设置于所述第三主区域的附近,

所述第一收敛区域和所述第四收敛区域以沿第一方向延伸的第一直线为对称轴呈线对称,

所述第二收敛区域和所述第三收敛区域以所述第一直线为对称轴呈线对称,

所述第一收敛区域和所述第三收敛区域以沿与所述第一~第四间隙的延伸方向正交的第二方向延伸的第二直线为对称轴呈线对称,

所述第二收敛区域和所述第四收敛区域以所述第二直线为对称轴呈线对称,

所述第五收敛区域和所述第七收敛区域以所述第二直线为对称轴呈线对称,

所述第六收敛区域和所述第八收敛区域以所述第二直线为对称轴呈线对称。

2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,

所述第一磁敏元件及所述第三磁敏元件与所述第一磁性体层及所述第二磁性体层具有重叠部分,

所述第二磁敏元件及所述第四磁敏元件与所述第一磁性体层及所述第三磁性体层具有重叠部分。

3.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,

在所述第一磁性体层上设置有具有环状的外周的切口部。

4.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,

将分别配置于由所述第一间隙、所述第二间隙、所述第三间隙及所述第四间隙形成的磁路上的多个磁敏元件串联连接而构成所述第一磁敏元件、所述第二磁敏元件、所述第三磁敏元件及所述第四磁敏元件。

5.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于,

还具备第四磁性体层,该第四磁性体层被配置于分别构成所述第一磁敏元件、所述第二磁敏元件、所述第三磁敏元件及所述第四磁敏元件的所述多个磁敏元件之间。

6.根据权利要求5所述的磁传感器,其特征在于,

所述第四磁性体层与分别构成所述第一磁敏元件、所述第二磁敏元件、所述第三磁敏元件及所述第四磁敏元件的所述多个磁敏元件具有重叠部分。

7.根据权利要求5所述的磁传感器,其特征在于,

所述第四磁性体层在第一方向上被分割,其中,所述第一方向是所述第一~第四间隙的延伸方向。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的磁传感器,其特征在于,

所述第一~第四磁敏元件均为磁阻元件。

9.根据权利要求8所述的磁传感器,其特征在于,

构成所述第一~第四磁敏元件的磁阻元件的灵敏度方向彼此相同。

10.根据权利要求8所述的磁传感器,其特征在于,

构成所述第一~第四磁敏元件的磁阻元件为自旋阀型GMR元件。

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