[发明专利]引线接合装置、其电路以及半导体装置的制造方法

说明书

本发明提供一种引线接合装置、引线接合装置用电路及半导体装置的制造方法。包括：线轴、夹持器、焊炬电极、高压电源电路、断开检测电路、切换线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接的第一切换开关、以及使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断的继电器，并且包括控制部，所述控制部是将第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使继电器关断而产生放电，将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通而进行断开检测。因此，能够利用简单的结构，来抑制引线夹持器的电腐蚀，并且进行断开检测。

技术领域

本发明涉及一种引线接合装置、引线接合装置用电路的结构及半导体装置的制造方法。

背景技术

引线接合装置正在被大量使用，所述引线接合装置是利用金属的引线来连接配置在电路基板上的半导体芯片等元件的电极与电路基板的导线(lead)之间。引线接合是在引线的前端利用电焊炬(torch)而形成自由空气球(free air ball)，通过瓷嘴(capillary)将所述自由空气球接合于元件的电极之后，将瓷嘴打成环状，利用瓷嘴将引线按压至电路基板的导线，然后，将引线在由夹持器(clamper)抓持着的状态下拉起来而切断引线。自由空气球是通过利用夹持器夹住引线，对引线施加自由空气球形成用的高电压，使其与电焊炬之间产生放电而使引线熔融而形成。此时，存在如下的情况：在夹住引线的夹持器与引线之间产生二次放电，从而可在夹持器的表面上形成电腐蚀。当在夹持器的表面上形成伤痕时，有时夹持器抓持引线的力会降低，或由于因电腐蚀而产生的夹持器的伤痕而损伤引线表面。因此，提出了与引线切割(wire cut)用的夹持器另外地设置电性连接用的夹持器的技术(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3041812号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

但是，在专利文献1中所述的现有技术的引线接合装置中，存在如下的问题：无法抑制电气连接用的夹持器与引线之间的二次放电，在电性连接用的夹持器的表面上产生电腐蚀，由此使得引线表面产生损伤。并且，当设为不对电性连接用的夹持器施加自由空气球形成用的高电压时，存在无法确保引线与断开检测电路之间的电性连接，无法进行断开检测的问题。

因此，本发明的目的在于利用简单的结构，来抑制引线夹持器的电腐蚀，并且进行断开检测。

解决问题的手段

本发明的引线接合装置包括：线轴(spool)；夹持器，抓持从线轴抽出的引线；焊炬电极，通过放电而在引线的前端形成自由空气球；高压电源电路，对焊炬电极供电；断开检测电路，进行引线与元件或基板的断开检测；第一切换开关，切换线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接；继电器，使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断；以及控制部，将第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使继电器关断而产生放电，将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通而进行断开检测。

在本发明的引线接合装置中，可以设为：包括第二切换开关，所述第二切换开关配置在第一切换开关的线轴侧与线轴之间，切换第一切换开关的线轴侧与接地线的连接，控制部将第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使继电器接通，而且将第二切换开关设为接地线侧而进行线轴的导通确认。

在本发明的引线接合装置中，可以设为包括：引线导件(wire guide)，配置在线轴与夹持器之间，具有引线的至少一部分所接触的贯通孔；以及连接线，将引线导件与第一切换开关的线轴侧加以连接。