[发明专利]引线接合装置、其电路以及半导体装置的制造方法

权利要求书

1.一种引线接合装置，包括：

线轴；

夹持器，抓持从所述线轴抽出的引线；

焊炬电极，通过放电而在所述引线的前端形成自由空气球；

高压电源电路，对所述焊炬电极供电；

断开检测电路，进行所述引线与元件或基板的断开检测；

第一切换开关，切换所述线轴与所述高压电源电路或所述断开检测电路的连接；

继电器，使所述夹持器与所述第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断；以及

控制部，将所述第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使所述继电器关断而产生所述放电，将所述第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使所述继电器接通而进行所述断开检测。

2.根据权利要求1所述的引线接合装置，包括：

第二切换开关，配置在所述第一切换开关的所述线轴侧与所述线轴之间，切换所述第一切换开关的所述线轴侧与接地线的连接，

所述控制部将所述第一切换开关设为所述断开检测电路侧，并且使所述继电器接通，而且将所述第二切换开关设为接地线侧，从而进行所述线轴的导通确认。

3.根据权利要求2所述的引线接合装置，包括：

引线导件，配置在所述线轴与所述夹持器之间，具有所述引线的至少一部分所接触的贯通孔；以及

连接线，将所述引线导件与所述第一切换开关的所述线轴侧加以连接。

4.一种引线接合装置用电路，包括：

高压电源电路，对焊炬电极供电，所述焊炬电极通过放电而在引线的前端形成自由空气球；

断开检测电路，进行所述引线与元件或基板的断开检测；

第一切换开关，切换抽出所述引线的线轴与所述高压电源电路或所述断开检测电路的连接；

继电器，使夹持器与所述第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断，所述夹持器抓持从所述线轴抽出的所述引线；以及

控制部，将所述第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使所述继电器关断而产生所述放电，并且将所述第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使所述继电器接通而进行所述断开检测。

5.一种半导体装置的制造方法，包括如下的工序：

准备引线接合装置，所述引线接合装置包括线轴、抓持从所述线轴抽出的引线的夹持器、通过放电而在所述引线的前端形成自由空气球的焊炬电极、对所述焊炬电极供电的高压电源电路、进行所述引线与元件或基板的断开检测的断开检测电路、切换所述线轴与所述高压电源电路或所述断开检测电路的连接的第一切换开关、以及使所述夹持器与所述第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断的继电器；

将所述第一切换开关设为高压电源电路侧，并且使所述继电器关断，所述高压电源电路对所述焊炬电极供电而形成自由空气球；

将形成有所述自由空气球的所述引线接合于元件或基板；以及

将所述第一切换开关设为断开检测电路侧，并且使所述继电器接通，而进行所述引线与所述元件或基板的所述断开检测。