[发明专利]化学气相沉积反应炉中的排气歧管

权利要求书

1.用于从喷涂系统中抽取工艺气体的装置，包括具有流道的排气歧管(1)，其中所述流道包括吸气口(2)、在流动方向(S)上的邻接抽气段(3)、以及在流动方向(S)上布置在抽气室(3)的下游并通入吸气管线(4、4'、4)的真空泵口(20、20'、20)的集气段(5)，其中吸气口(2)的沿长边方向(L)延伸的长度显著大于沿窄边方向(W)延伸的宽度，并且其中抽气室(3)和集气室(5)由沿长边方向(L)延伸的长侧壁(6、8)和沿窄边方向(W)延伸的窄侧壁(7)限定，该限定方式使得因吸气管线(4、4'、4)中产生的负压而在流道中形成气流，其特征在于，在抽气段(3)和集气段(5)之间并距离吸气口(2)一定距离处的至少一个中间空间(9)中，布置有阻流结构，其中，在该中间空间(9)中，中间区域(Z)位于两个边缘区域(R)之间的长边方向(L)，并且其中，中间区域(Z)对气流施加的流动阻力比在边缘区域(R)中施加的流动阻力大。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻流结构由中间空间(9)的长侧壁(10)形成，所述长侧壁(10)彼此间的间距比在抽气段(3)中的间距小。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在中央区域(Z)的中心处，所述阻流结构的沿高度方向延伸的高度比在边缘区域(R)中的高度大。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述长侧壁(6、8、10)分别大致彼此平行地延伸。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述中间空间(9)的长侧壁的形成限制结构的指向吸气口(2)的第一边缘(11)基本上平行于吸气口(2)延伸。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，限制结构的指向集气段(5)的边缘(12)向限制结构的指向吸气口的边缘(11)倾斜地延伸。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，在限制结构的指向吸气管线(4)的边缘(12)与限制结构的指向吸气口(2)的第一边缘(11)之间延伸的限制结构的长侧壁(10)彼此平行地延伸，并且它们彼此间的间距大于抽气段(3)的长侧壁(6)彼此间的最小间距，并小于集气段(5)的长侧壁(8)彼此间的最小间距。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述两个边缘区域(R)布置在中央区域(Z)与窄侧壁(7)之间。

9.如权利要求1所述的装置，其中，公共抽气段(3)与两个或更多个子歧管(1'、1)连接，其中每个子歧管(1'、1)包括布置在公共抽气段(3)与子歧管(1'、1)的集气段(5)之间的至少一个中间空间(9)中的阻流结构，其中每个子歧管(1'、1)对位于真空泵口(4'、4)的长边位置的中央区域(Z)中的气流施加的流动阻力比在布置在中央区域(Z)与窄侧壁(7)之一或两个相邻子歧管(1'、1)之间的接合部(21)之间的边缘区域(R)中施加的流动阻力大。

10.用于从喷涂系统中抽取工艺气体的装置，包括具有流道的抽气单元(1)，其中所述流道沿流动方向(S)从吸气口(2)经由在流动方向(S)上的邻接抽气段(3)和集气段(5)一直延伸至吸气管线(4、4'、4)的真空泵口(20、20'、20)，其中吸气口(2)的沿长边方向(L)延伸的长度显著大于沿窄边方向(W)延伸的宽度，并且其中抽气段(3)和集气室(5)由沿长边方向(L)和高度方向(H)延伸的长侧壁(6、8)以及沿窄边方向(W)和高度方向(H)延伸的窄侧壁(7)限定，其特征在于，在抽气段(3)与集气段(5)之间布置有阻流结构，其中集气段(5)的沿高度方向(H)延伸的高度包括在真空泵口(20、20'、20)处的最大高度，并且沿长边方向(L)减小，其中沿流动方向(S)测量的抽气段(3)的沿高度方向(H)延伸的高度大于50毫米。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述流动影响结构由流道的长侧壁的间距减小的区域(10)形成。