[发明专利]流量传感器

说明书

本发明的目的在于提供一种与现有技术相比提高响应性的流量传感器。本发明的流量传感器(1)的特征在于，具有绝缘基板(2)、流量检测用电阻元件(3)、温度补偿用电阻元件(4)，使所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件分别配置在所述绝缘基板上，以使所述温度补偿用电阻元件的端子温度接近所述流量检测用电阻元件的端子温度。由此，能够提高响应性。

技术领域

本发明例如涉及一种可测量风速的流量传感器。

背景技术

已知一种将加热了的流量检测用电阻元件暴露在流体中，并基于此时的放热作用对流体的流量进行检测的热式流量传感器。在此，为了抑制流体的温度变化的影响，在热式流量传感器中，除了流量检测用电阻元件以外，还设置对流体本身的温度进行检测的温度补偿用电阻元件来实施温度补偿。例如，流量检测用电阻元件和温度补偿用电阻元件被设置在同一绝缘基板上(参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-35978号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在流量检测用电阻元件的端子温度与温度补偿用电阻元件的端子温度因流量检测用电阻元件与温度补偿用电阻元件之间的热阻而产生差异的情况下，流量传感器的响应性根据起因于产生温度差的区域的热容量的热时间常数来确定。即，流量检测用电阻元件与温度补偿用电阻元件之间的热时间常数越大，响应性越低。

根据专利文献1中所记载的发明，将两电阻元件在热分离的状态下配置在同一基板上。根据该结构，两电阻元件的端子温度差增大，从而流量检测用电阻元件与温度补偿用电阻元件之间的热时间常数大，进而无法提高响应性。

于是本发明是鉴于上述问题而完成的发明，其目的在于提供一种与现有技术相比提高响应性的流量传感器。

用于解决课题的手段

本发明中的流量传感器的特征在于，具有绝缘基板、流量检测用电阻元件、温度补偿用电阻元件，使所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件分别配置在所述绝缘基板上，以使所述温度补偿用电阻元件的端子温度接近所述流量检测用电阻元件的端子温度。

此外，本发明的流量传感器的特征在于，具有：绝缘基板、流量检测用电阻元件、温度补偿用电阻元件，所述流量检测用电阻元件被配置在所述绝缘基板的表面侧，所述温度补偿用电阻元件被配置在所述绝缘基板的背面侧，并隔着所述绝缘基板与所述流量检测用电阻元件相对配置。

发明效果

本发明的流量传感器能够缩小两电阻元件间的热时间常数，从而能够提高响应性。

附图说明

图1为本实施方式中的流量传感器的部分俯视图。

图2为图1所示的流量传感器的A-A箭头方向上观察的剖视图。

图3为图2所示的流量传感器的部分放大剖视图。

图4为本实施方式的流量传感器的电路图。

图5中图5A以及图5B为表示在本实施方式的流量传感器设置了盖体的结构的部分立体图。

图6为图5A中所表示的流量传感器的B-B箭头方向上观察的剖视图。

图7中图7A～图7C为表示不同于图2的另一实施方式的流量传感器的部分剖视图。

图8为表示不同于图1、图2的另一实施方式的流量传感器，图8A为俯视图，图8B为图8A中所表示的C-C箭头方向上观察的剖视图。

图9为实验中使用的实施例的俯视图(图9A)、背面图(图9B)。