[发明专利]流量传感器

权利要求书

1.一种流量传感器，其特征在于，具有绝缘基板、流量检测用电阻元件、温度补偿用电阻元件，

使所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件分别配置在所述绝缘基板上，以使所述温度补偿用电阻元件的端子温度接近所述流量检测用电阻元件的端子温度，

所述绝缘基板被构成为，具有元件设置部、与所述元件设置部分离的支承部、将所述元件设置部与所述支承部之间连接并且比所述元件设置部细窄的连接部，

所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件分别配置在所述元件设置部内。

2.一种流量传感器，其特征在于，具有绝缘基板、流量检测用电阻元件、温度补偿用电阻元件，

所述流量检测用电阻元件被配置在所述绝缘基板的表面侧，所述温度补偿用电阻元件被配置在所述绝缘基板的背面侧，并隔着所述绝缘基板与所述流量检测用电阻元件相对配置，

所述绝缘基板被构成为，具有元件设置部、与所述元件设置部分离的支承部、将所述元件设置部与所述支承部之间连接并且比所述元件设置部细窄的连接部，

所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件分别配置在所述元件设置部内。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的流量传感器，其特征在于，

所述温度补偿用电阻元件被配置成，与所述流量检测用电阻元件相比与流体的接触受到阻碍。

4.根据权利要求3所述的流量传感器，其特征在于，

所述支承部隔着缝隙来包围所述元件设置部的周围，所述元件设置部与所述支承部之间通过多个所述连接部连接。

5.根据权利要求4所述的流量传感器，其特征在于，

在所述元件设置部的背面设置有具有凹部的盖体，所述温度补偿用电阻元件被配置在所述元件设置部的背面且在所述凹部内。

6.根据权利要求1或2所述的流量传感器，其特征在于，

所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件被构成为，具有陶瓷基板、被设置在所述陶瓷基板的表面上的电阻层、与所述电阻层电连接、被设置在所述陶瓷基板的表面上的端子。

7.根据权利要求3所述的流量传感器，其特征在于，

所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件被构成为，具有陶瓷基板、被设置在所述陶瓷基板的表面上的电阻层、与所述电阻层电连接、被设置在所述陶瓷基板的表面上的端子。

8.根据权利要求4所述的流量传感器，其特征在于，

所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件被构成为，具有陶瓷基板、被设置在所述陶瓷基板的表面上的电阻层、与所述电阻层电连接、被设置在所述陶瓷基板的表面上的端子。

9.根据权利要求5所述的流量传感器，其特征在于，

所述流量检测用电阻元件以及所述温度补偿用电阻元件被构成为，具有陶瓷基板、被设置在所述陶瓷基板的表面上的电阻层、与所述电阻层电连接、被设置在所述陶瓷基板的表面上的端子。