[发明专利]输送固定夹具

说明书

本发明提供一种夹持力较高、难以污染被加工物(被输送物)且耐热性优异的输送固定夹具。本发明的输送固定夹具具有第1基材、碳纳米管集合体以及配置在该第1基材与该碳纳米管集合体之间的粘接剂层，该第1基材和该碳纳米管集合体借助该粘接剂层相接合，该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7～1.8。

技术领域

本发明涉及一种输送固定夹具。

背景技术

在半导体元件等的制造工序中，在对材料、制造中间产品以及成品等(以下也称作被加工物)进行输送时，使用移动臂、移动台等输送基材来输送该被加工物(例如参照专利文献1、2)。在进行这种输送时，对于供被加工物载置的构件(输送固定夹具)，被要求使被加工物不会在输送过程中偏离这样较强的夹持力。此外，这种要求与制造工序高速化的要求相辅相成且逐年增高。

但是，以往的输送固定夹具利用树脂等弹性材料来保持被加工物，存在该弹性材料易于附着残留于被加工物的问题。此外，树脂等弹性材料的耐热性较低，存在在高温环境下其夹持力下降的问题。

若将陶瓷等材料用于输送固定夹具，则能够防止被加工物的污染，此外夹持力的温度依赖性降低。但是，由这种材料形成的输送固定夹具实质上其夹持力较低，存在即使在常温下也无法充分地保持被加工物的问题。

此外，作为在高温环境下保持被加工物的方法，能够举出减压吸附的方法、通过输送固定夹具的形状来固定被加工物的方法(例如夹持、锪孔固定等)等。但是，减压吸附的方法只在大气气氛下有效，在CVD工序等的真空下无法采用。此外，在通过输送固定夹具的形状来固定被加工物的方法中，由于被加工物和输送固定夹具的接触，从而存在被加工物受到损伤、产生颗粒等问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-351961号公报

专利文献2：日本特开2013-138152号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的课题提供一种夹持力较高、难以污染被加工物(被输送物)且耐热性优异的输送固定夹具。

用于解决问题的方案

本发明的输送固定夹具具有第1基材、碳纳米管集合体以及配置于该第1基材与该碳纳米管集合体之间的粘接剂层，该第1基材和该碳纳米管集合体借助该粘接剂层相接合，该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7～1.8。

在一个实施方式中，上述碳纳米管集合体形成于第2基材上，该第1基材和该第2基材借助该粘接剂层相接合。

在一个实施方式中，构成上述粘接剂层的粘接剂为无机类粘接剂或碳类粘接剂。

在一个实施方式中，上述无机类粘接剂为陶瓷粘接剂。

在一个实施方式中，将上述输送固定夹具在450℃下放置了1小时之后，所述粘接剂层的弹性模量变化为50％以下。

在一个实施方式中，上述粘接剂层的线膨胀系数为5ppm/℃～12ppm/℃。

在一个实施方式中，构成上述第1基材的材料为氧化铝。

在一个实施方式中，在23℃时上述碳纳米管集合体表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为1～50。