[发明专利]输送固定夹具在审

专利信息
申请号: 201780018295.7 申请日: 2017-03-14
公开(公告)号: CN108886011A 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 増田将太郎;市川智昭;前野洋平;畠山義治 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B65G49/07
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 基材 粘接剂层 碳纳米管集合体 固定夹具 线膨胀系数 耐热性 被加工物 被输送物 接合 夹持力 配置 污染
【权利要求书】:

1.一种输送固定夹具,其中,

该输送固定夹具具有第1基材、碳纳米管集合体以及配置于该第1基材与该碳纳米管集合体之间的粘接剂层,

该第1基材和该碳纳米管集合体借助该粘接剂层相接合,

该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7~1.8。

2.根据权利要求1所述的输送固定夹具,其中,

所述碳纳米管集合体形成于第2基材上,

该第1基材和该第2基材借助该粘接剂层相接合。

3.根据权利要求1或2所述的输送固定夹具,其中,

构成所述粘接剂层的粘接剂为无机类粘接剂或碳类粘接剂。

4.根据权利要求3所述的输送固定夹具,其中,

所述无机类粘接剂为陶瓷粘接剂。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的输送固定夹具,其中,

在将所述输送固定夹具在450℃下放置了1小时之后,所述粘接剂层的弹性模量变化为50%以下。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的输送固定夹具,其中

所述粘接剂层的线膨胀系数为5ppm/℃~12ppm/℃。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的输送固定夹具,其中,

构成所述第1基材的材料为氧化铝。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的输送固定夹具,其中,

在23℃时所述碳纳米管集合体表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为1~50。

9.一种权利要求1~8中任一项所述的输送固定夹具的制造方法,其中,

该输送固定夹具的制造方法包括:

在第1基材上涂布粘接剂来形成涂布层;

在该涂布层上配置碳纳米管集合体;

使该涂布层硬化从而形成粘接剂层;

借助该粘接剂层将该第1基材和该碳纳米管集合体相接合,

该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7~1.8。

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