[发明专利]衬底载运器有效
| 申请号: | 201780016298.7 | 申请日: | 2017-02-09 |
| 公开(公告)号: | CN108780769B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
| 发明(设计)人: | M·L·约翰逊;G·M·加拉格尔;B·格雷格森 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 顾晨昕 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 衬底 载运 | ||
本发明公开一种衬底容器(100),其包含基底(105)及盖(115)。盖(115)配合基底(105)以界定封闭空间。互锁托架(405)的堆叠可安置于基底(105)内。每一互锁托架(405)包含嵌入凸缘(410),其界定用于支撑衬底的配准面(420)。互锁托架(405)还包含凸肩部分(415)。离隙特征(435)界定于凸肩部分(415)与配准面(420)之间的接合点。离隙特征(435)可防止衬底的尖锐边缘接触凸肩部分(415),借此减少颗粒产生。
本申请要求2016年2月9日申请的第62/293,240号美国临时申请及2016年3月4日申请的第62/303,643号美国临时申请的权利,所述申请的全部内容出于所有目的而以全文引用的方式并入本文中。
技术领域
本公开大体上涉及用于存储及运输衬底的容器。更特定来说,本公开大体上涉及用于存储及运输薄玻璃衬底的容器。
背景技术
用于存储并运输等易碎薄衬底的容器被设计成防止衬底受损坏是重要的。优选地,还称为载运器的容器是紧凑型的且经设计以促进将衬底堆积于其内及从其移除衬底。另外,使给定容器能够安全地运输不同数目及类型的衬底是有益的。据此,所属领域中需要满足这些各种准则的容器。
发明内容
本公开大体上涉及衬底容器。在一个说明性实施例中,一种容器可包含基底及经配置以配合所述基底而界定封闭空间的盖。托架堆叠可安置于所述容器内且可包含安置于所述基底内的多个互锁托架,托架中的每一个经配置以收纳并保持衬底。所述托架堆叠可具有经设定尺寸以压缩于所述盖与所述基底部分之间的高度,当所述盖配合所述基底时,所述压缩对所述托架堆叠施加夹紧力。另外,所述多个互锁托架中的每一个可包含具有对置侧的嵌入凸缘,所述对置侧的第一侧界定配准面且所述对置侧的第二侧包含肋结构。
在另一说明性实施例中,一种容器可包含:基底,其具有底部部分、从所述底部部分向上延伸的侧壁及从所述侧壁部分向外径向延伸的轮缘部分;和盖,其经配置以配合所述基底而界定封闭空间。托架安置于所述基底内,所述托架具有经配置以收纳并保持一或多个衬底的凹入部分。另外,所述托架可包含:底部部分,其经配置以支撑衬底;侧壁部分,其从所述底部部分向上延伸;和轮缘部分,其从所述衬垫侧壁部分向外径向延伸且经配置以邻接所述基底的所述轮缘部分。
在又一实施例中,一种方法包含:将衬底放置于第一互锁托架的配准面上,所述第一互锁托架包含具有对置侧的嵌入凸缘,所述对置侧的第一侧界定所述配准面且所述对置侧的第二侧包含肋结构;将所述第一互锁托架放置于容器内,所述容器具有基底及经配置以配合所述基底而界定封闭空间的盖;和将第二互锁托架放置于所述第一互锁托架的顶部上,使得所述第二互锁托架配合由所述第一互锁框架的凸肩部分界定的凹角。
提供上述概要来促进本公开特有的一些创新特征的理解且上述概要不希望是完全描述。可通过整体考虑本说明书、权利要求书、图式及摘要而获得本公开的完全了解。
附图说明
可鉴于结合附图的各种说明性实施例的以下描述而更完全理解本公开,其中:
图1是根据本公开的实施例的包含托架的载运器的分解图。
图2是图1的载运器的载运器基底及托架的透视图。
图3是图1及2中所展示的载运器的基底的底部的透视图。
图4是根据本公开的另一实施例的包含托架堆叠的载运器的分解图。
图5是根据本公开的又一实施例的包含托架堆叠的另一载运器的分解图。
图6A到6C展示根据本公开的实施例的托架及托架堆叠。
图7展示利用图6A到6C的托架及其内所存储的衬底的经组装载运器。
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