[发明专利]可低温固化的负型感光性组合物

说明书

提供一种负型感光性组合物，所述负型感光性组合物可低温固化，并且可获得透明性、耐化学品性、耐环境性高的固化膜，还提供使用该组合物的图案形成方法。本发明提供一种负型感光性组合物，其包含：碱可溶性树脂、具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物、聚硅氧烷、聚合引发剂、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。

技术领域

本发明涉及负型感光性组合物。另外，本发明也涉及使用了该组合物的固化膜的制造方法、由该组合物形成的固化膜、以及具有该固化膜的元件。

背景技术

近年来，在显示器、发光二极管、太阳能电池等的光学元件方面，以提高光利用效率和节能为目的，人们提出了各种各样的提案。例如，在液晶显示器方面，已知晓如下的方法：通过在薄膜晶体管(以下，有时会称为TFT)元件上被覆形成透明的平整化膜，然后在该平整化膜上形成像素电极，从而提高显示装置的开口率(参照专利文献1)。

另外，有人提出了在有机EL或液晶模块之上制成触摸面板的结构。进一步，使用了塑料基板来替代玻璃基板的柔性显示器受人注目。在这些元件的制造方法中，都优选按照使得元件的构成材料不发生热劣化的方式，以更低温度进行元件上的涂膜形成。即使在被覆形成于其它有机半导体元件、有机太阳能电池等上的情况下，也要求考量环境并且要求涂膜可在更低温度进行固化。但是，已知晓：例如在触摸面板的领域，作为面板的可靠性试验，在高温高湿的条件下以一定时间持续施加一定电压，将即使在这种试验中也正常地发挥功能这一条件设为面板的合格条件。有鉴于此，通常的丙烯酸类聚合物虽然能在低温进行固化，但是大多不具有顾客所要求的耐受性。

已知晓聚硅氧烷具有高温耐受性，但是有时会根据元件的构成材料而不得不将涂膜的固化温度设为例如200℃以下。一般而言，为了获得高温高湿耐受性的涂膜，需要将涂膜在120℃以上进行加热，迅速地进行硅烷醇基的缩合反应并且完结。专利文献2中公开了一种可低温固化的负型感光性组合物，其包含聚硅氧烷、丙烯酸类聚合物和聚合引发剂。将由该组合物形成的涂膜进行曝光时，则可使得具有不饱和键的丙烯酸类聚合物进行光自由基聚合而获得固化涂膜。但是将由此组合物形成的涂膜进行低温固化时，则存在有如下的问题：有时会残留下未反应的丙烯酰基，此丙烯酰基就会与在元件的制造工艺中使用的化学品进行反应。由此，人们期望着开发出一种可兼顾低温固化的可能性与化学品耐受性的组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第2933879号说明书

专利文献2：日本特开2015-18226号公报

发明内容

发明想要解决的课题

本发明基于上述背景完成，其目的在于提供一种负型感光性组合物，其可在低温形成透明性、耐化学品性、耐环境性优异的固化膜或者图案。

用于解决课题的方案

本发明提供一种负型感光性组合物，其包含：碱可溶性树脂、具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物、聚硅氧烷、聚合引发剂以及溶剂，所述碱可溶性树脂是含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。

本发明还提供一种固化膜的制造方法，其包含如下的工序：将前述的负型感光性组合物涂布于基板而形成涂膜，将涂膜进行曝光，然后将已曝光的涂膜显影。

发明的效果