[发明专利]可低温固化的负型感光性组合物

权利要求书

1.一种负型感光性组合物，其包含：

碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂是含有包含羧基的聚合单元、包含羟基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物，

具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物，所述具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物从由如下构成的群组中选出：三(2-丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、聚四亚甲基二醇二甲基丙烯酸酯、二(三羟甲基丙烷)四丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯和1,10-癸二醇二丙烯酸酯，

聚硅氧烷，

聚合引发剂，以及

溶剂，

其中，相对于总计100重量份的所述碱可溶性树脂以及所述聚硅氧烷，包含3~50重量份的所述具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物，并且

其中，所述包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元衍生自以下的式(I)所示的单体：

X-(CH₂)_a-Si(OR)_b(CH₃)_3-b (I)

式中，

X是乙烯基、苯乙烯基或者(甲基)丙烯酰氧基，

R是甲基或者乙基，

a为0~3的整数，并且

b为1~3的整数。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述包含羧基的聚合单元衍生自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者它们的混合物。

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述碱可溶性树脂的重均分子量为3,000~50,000。

4.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷的重均分子量为1,200~5,000。

5.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述聚合引发剂为光自由基产生剂。

6.一种固化膜的制造方法，其包含如下的工序：

将权利要求1~5中任一项所述的组合物涂布于基板而形成涂膜，

将涂膜进行曝光，然后

将已曝光的涂膜显影。

7.根据权利要求6所述的固化膜的制造方法，其中，在显影后，还包含以70~360℃的温度进行加热的工序以将涂膜进行固化。

8.一种固化膜，其由权利要求1~5中任一项所述的组合物形成。

9.一种元件，其具备权利要求8所述的固化膜。