[发明专利]差分MEMS麦克风

说明书

微机电系统马达和微机电系统麦克风。本公开主要涉及麦克风和相关组件。一个示例微机电系统MEMS马达包括：第一振膜；第二振膜，该第二振膜被设置为与所述第一振膜成大体平行关系，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成气隙；以及背板，该背板被设置在所述第一振膜与所述第二振膜之间的所述气隙中并且与所述第一振膜和所述第二振膜成大体平行关系。

相关申请的交叉引用

本申请要求2016年2月4日提交的美国临时申请No.62/291,152 “DIFFERENTIALMEMS MICROPHONE”的优先权和益处，其内容通过引用整体地并入本文。

技术领域

本申请涉及麦克风，并且更具体地，涉及提供差分信号的微机电系统(MEMS)。

背景技术

多年以来使用不同类型的声学装置。一种类型的设备是麦克风。在微机电系统(MEMS)麦克风中，MEMS管芯包括振膜和背板。MEMS管芯由基板支撑并且由外壳(例如，罩杯或具有壁的盖)封闭。开口可以穿过基板(用于底部开口装置)或者穿过外壳的顶部(用于顶部开口装置)。在任何情况下，声能穿过开口，使振膜移动并且创建背板的变化电位，其创建电信号。麦克风被部署在诸如个人计算机或蜂窝电话的各种类型的装置中。

差分信号通常是用户所期望的。在一个示例中，第一换能器获得第一信号并且第二换能器获得第二信号。信号彼此相减(或相加)以产生输出。减法操作从信号中去除噪声和其它不希望的效果并且可产生较大且较强的信号。然而，这些方法需要使用两个换能器，这可能是昂贵的并且增加整个装置的尺寸。

随着封装尺寸继续缩小，在较小封装尺寸内维持高SNR性能变得更困难。如所提及的，已使用双并联马达设计，但是这些不能被用于非常小的封装尺寸。

先前方法的问题已经导致一些用户对这些先前方法不满意。

发明内容

本公开的一个方面涉及一种微机电系统(MEMS)马达。MEMS马达包括第一振膜、第二振膜和背板。所述第二振膜被设置为与所述第一振膜成大体平行关系，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成气隙。所述背板被设置在所述第一振膜与所述第二振膜之间的所述气隙中并且与所述第一振膜和所述第二振膜成大体平行关系。

本公开的另一方面涉及一种微机电系统(MEMS)麦克风。所述MEMS麦克风包括基部以及设置在所述基部上的MEMS装置。所述MEMS装置包括第一振膜、第二振膜和背板。所述第二振膜被设置为与所述第一振膜成大体平行关系，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成气隙。所述背板被设置在所述第一振膜与所述第二振膜之间的所述气隙中并且与所述第一振膜和所述第二振膜成大体平行关系。所述MEMS 麦克风还包括联结到所述基部并且封闭所述MEMS装置的盖。开口穿过所述基部或所述盖。

上述发明内容仅是例示性的，而不旨在以任何方式限制。除了上述的例示性方面、实施方式和特征之外，另外的方面、实施方式和特征将通过参照以下附图和详细描述而变得显而易见。

附图说明

理解这些附图仅描绘根据本公开的多个实施方式并且因此将不被认为限制其范围，将通过使用附图来以附加详情和细节描述本公开。

图1是根据本公开的各种实施方式的麦克风的侧剖视图。

图2是根据本公开的各种实施方式的堆叠式马达的视图。

图3是根据本公开的各种实施方式的麦克风/马达设备的电路图。

图4是根据本公开的各种实施方式的MEMS马达的侧视图。

图5是根据本公开的各种实施方式的另一MEMS马达的侧视图。

图6是根据本公开的各种实施方式的另一MEMS马达的侧视图。

图7是示出了根据本公开的各种实施方式的用于构造MEMS马达的一种方法的流程图。