[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，被配置为与对基板进行曝光处理的曝光装置邻接，所述基板处理装置具有：

膜形成单元，以在基板的被处理面上形成含金属感光性膜的方式进行动作，所述含金属感光性膜包含金属成分及感光性材料；

边缘曝光部，以对形成含金属感光性膜后的基板的周缘部照射光的方式进行动作；

边缘显影处理部，包括显影液喷嘴，以通过从所述显影液喷嘴向基板的周缘部喷出显影液，由此对已经被所述边缘曝光部照射光的含金属感光性膜的周缘部进行显影处理的方式进行动作；

搬送机构，以将由所述边缘显影处理部进行显影处理后的基板搬送至所述曝光装置的方式进行动作；以及

显影处理单元，以通过对在所述曝光装置中进行曝光处理后的基板供给显影液，由此进行含金属感光性膜的显影处理的方式进行动作，

所述搬送机构构成为，将由所述边缘显影处理部进行显影处理后且由所述显影处理单元进行显影处理前的基板搬送至所述曝光装置。

2.一种基板处理装置，被配置为与对基板进行曝光处理的曝光装置邻接，所述基板处理装置具有：

膜形成单元，以在基板的被处理面上形成含金属感光性膜的方式进行动作，所述含金属感光性膜包含金属成分及感光性材料；

搬送机构，以将由所述膜形成单元进行膜形成处理后的基板搬送至所述曝光装置的方式进行动作；以及

显影处理单元，以通过对在所述曝光装置中进行曝光处理后的基板供给显影液，由此进行含金属感光性膜的显影处理的方式进行动作，

所述膜形成单元包括：

液体供给部，以通过对基板的所述被处理面涂布含金属感光性膜用的涂布液，由此在基板的所述被处理面上形成含金属感光性膜的方式进行动作；

边缘曝光部，以对形成含金属感光性膜后的基板的周缘部照射光的方式进行动作；

边缘显影处理部，以通过对基板的周缘部供给显影液，由此对已经被所述边缘曝光部照射光的含金属感光性膜的周缘部进行显影处理的方式进行动作；

所述搬送机构构成为，将由所述膜形成单元的所述边缘显影处理部进行显影处理后且由所述显影处理单元进行显影处理前的基板搬送至所述曝光装置。

3.一种基板处理装置，被配置为与对基板进行曝光处理的曝光装置邻接，所述基板处理装置具有：

膜形成单元，以在基板的被处理面上形成含金属感光性膜的方式进行动作，所述含金属感光性膜包含金属成分及感光性材料；

搬送机构，以将由所述膜形成单元进行膜形成处理后的基板搬送至所述曝光装置的方式进行动作；以及

显影处理单元，以通过对在所述曝光装置中进行曝光处理后的基板供给显影液，由此进行含金属感光性膜的显影处理的方式进行动作，

所述膜形成单元包括：

旋转保持部，用于保持基板并使所述基板旋转；

液体供给部，以通过对由所述旋转保持部旋转的基板的所述被处理面供给含金属感光性膜用的涂布液，由此在基板的所述被处理面上形成含金属感光性膜的方式进行动作；

边缘曝光部，在由所述液体供给部供给涂布液后，以对由所述旋转保持部旋转的基板的所述被处理面上的含金属感光性膜的周缘部照射光的方式进行动作；

边缘显影处理部，在由所述边缘曝光部照射光后，以通过对由所述旋转保持部旋转的基板的周缘部供给显影液，由此对已经被所述边缘曝光部照射光的含金属感光性膜的周缘部进行显影处理的方式进行动作，

所述搬送机构构成为，将由所述边缘显影处理部进行显影处理后且由所述显影处理单元进行显影处理前的基板搬送至所述曝光装置。