[发明专利]柔性器件基板形成用组合物有效
申请号: | 201780005922.3 | 申请日: | 2017-01-05 |
公开(公告)号: | CN108473764B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 小山欣也;北浩;叶镇嘉;何邦庆 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
主分类号: | C08L79/08 | 分类号: | C08L79/08;C08K3/36;C08G73/10;H05K1/03;C08K3/22 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;孙丽梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 器件 形成 组合 | ||
本发明的目的是提供,可获得具有耐热性优异,延迟也低这样的特征的树脂薄膜,特别是适合作为柔性器件的基板的树脂薄膜,且可获得能够应用激光剥离法的、吸收特定波长的光线的树脂薄膜的柔性器件基板形成用组合物。作为解决手段,是包含聚酰亚胺、粒径为3nm~200nm的二氧化钛粒子、由通过氮吸附法测定的比表面积值算出的平均粒径为100nm以下的二氧化硅粒子、和有机溶剂的柔性器件基板形成用组合物,以及由该柔性器件基板形成用组合物形成的树脂薄膜。
技术领域
本发明涉及柔性器件基板形成用组合物,更具体而言,特别是涉及可以适合用于形成在从载体基材剥离基板的剥离工序中使用激光剥离法的、柔性显示器等的柔性器件基板的组合物。
背景技术
近年来,随着液晶显示器、有机电致发光显示器等电子仪器的迅速进步,要求器件的薄型化、轻量化以及柔性化。
在这些器件中,在玻璃基板上形成有各种电子元件,例如,薄膜晶体管、透明电极等,通过将该玻璃材料替换成柔软并且轻量的树脂材料,能够实现器件本身的薄型化、轻量化、柔性化。
在这样的情况下,作为玻璃的替代材料,聚酰亚胺受到关注。于是,对面向该用途的聚酰亚胺不仅要求柔软性,而且在大多数情况下,还要求与玻璃同样的透明性。为了实现这些特性,报导了原料使用脂环式二胺成分、脂环式酐成分而获得的半脂环式聚酰亚胺、全脂环式聚酰亚胺(例如参照专利文献1~3)。
另一方面,关于柔性显示器的制造,报导了:使用迄今为止在高亮度LED、三维半导体封装等的制造中使用的激光剥离法(LLO法),能够很好地将聚合物基板从玻璃载体剥离(例如非专利文献1)。
报导了:在柔性显示器的制造中,需要在玻璃载体上设置由聚酰亚胺等形成的聚合物基板,接下来在该基板上形成包含电极等的电路等,最终将基板与该电路等一起从玻璃载体剥离。如果在该剥离工序中采用LLO法,即,从与形成有电路等的面相反的面,将波长308nm的光线照射于玻璃载体,则该波长的光线透过玻璃载体,仅玻璃载体附近的聚合物(聚酰亚胺)吸收该光线而蒸发(升华)。其结果是,对决定显示器性能的、设置在基板上的电路等不产生影响,能够选择性地执行从玻璃载体剥离基板。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-147599号公报
专利文献2:日本特开2014-114429号公报
专利文献3:国际公开第2015/152178号
非专利文献
非专利文献1:Journal of Information Display,2014,Vol 15,No.1,p.p.1-4
发明内容
发明所要解决的课题
LLO法由于上述工艺上的优越性,因此在柔性显示器的制造中,作为极其优越的基板剥离法,采用的可能性不断提高。而且,随着柔性显示器的实用化、进一步批量生产的现实感增加,对能够应用LLO法的柔性显示器用的聚合物基板的要求也不断提高。
为了能够在柔性显示器的制造中采用LLO法,要求聚合物基板吸收特定波长的光线。然而,迄今为止提出的有望作为柔性显示器用基板材料的半脂环式聚酰亚胺、全脂环式聚酰亚胺,由于包含脂环部位,因此抑制可见光区域的光的吸收而透明性优异,另一方面,大多数情况下,紫外光区域的光的吸收也被抑制,不会充分吸收能够应用LLO法的紫外光区域的光线(例如308nm)。
由于具有这样的此消彼长(trade off)关系,因此包含半脂环式聚酰亚胺、全脂环式聚酰亚胺的现有材料往往不能应用LLO法。因此,在柔性显示器的领域中,要求具有下述那样的特征的基板材料:可见光区域的吸收被抑制而使透明性充分优异,并且充分吸收能够应用LLO法的特定波长(例如308nm)的光线。
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