[实用新型]具有新型控温功能的离子源

说明书

本实用新型提供了一种具有新型控温功能的离子源，所述离子源包括高压电极；气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。本实用新型具有结构简单、升温快、降温快等优点。

技术领域

本实用新型涉及离子源，特别涉及具有新型控温功能的离子源。

背景技术

在敞开式离子源工作过程中，当高温样品离子化时，要对放电气体在密封、无电子干扰的环境下进行升温，增加气体的离子速强度与离子束能量，有助于样品的离子化。当较低离子化温度样品分析时，需要离子源在密封环境下快速的降温，达到预期的温度范围。因此，快速实现离子源的升降温控制有利于试验的有序、合理化进行。

目前的敞开式离子源技术主要有以下不足：离子源热传递加热技术，能够较快的实现等径空间的加热，由于采用中空过气、外部密封的方式，导致热损耗大、利用率不高，当需要快速降温时，降温时间太长，使得实验等待时间过长；离子源风扇降温技术，由于离子源的放电特性，在良好保温装置外放置风扇，对于高温短时间内有效，但是在中等温度段效果不明显，降温时间较缓慢，导致无法满足快速升降温技术要求。

实用新型内容

为解决上述现有技术方案中的不足，本实用新型提供了一种结构简单、升温快速、降温快速的具有新型控温功能的离子源。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种具有新型控温功能的离子源，所述离子源包括高压电极；所述具有新型控温功能的离子源进一步包括：

气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；

加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；

测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；

输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：

1.离子源加热更快，升温温控更准。

2.离子源降温更快，更直接。

3.结构简单、紧凑。

4.形成的离子束更稳定。。

附图说明

参照附图，本实用新型的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本实用新型的技术方案，而并非意在对本实用新型的保护范围构成限制。图中：

图1是根据本实用新型实施例1的具有新型控温功能的离子源的结构简图。

具体实施方式

图1和以下说明描述了本实用新型的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本实用新型。为了教导本实用新型技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本实用新型的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本实用新型的多个变型。由此，本实用新型并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。

实施例1：

图1示意性地给出了本实用新型实施例的具有新型控温功能的离子源的结构简图，如图1所示，所述具有新型控温功能的离子源包括：