[实用新型]具有新型控温功能的离子源

权利要求书

1.一种具有新型控温功能的离子源，所述离子源包括高压电极；其特征在于：所述具有新型控温功能的离子源进一步包括：

气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；

加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；

测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；

输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。

2.根据权利要求1所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：所述具有控温功能的离子源进一步包括：

第一承载件，所述第一承载件的且内径较大段在所述第一承载件上的投影区域内具有第一通孔；

第二承载件，所述第二承载件设置在所述气体管道和高压电极之间，所述内径较小段的远离所述内径较大段的一端固定在所述第二承载件上，所述第二承载件的且内径较小段在所述第二承载件上的投影区域内具有第二通孔。

3.根据权利要求2所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：在气体流动方向上，所述第二通孔的孔径逐渐变小。

4.根据权利要求2所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：所述离子源进一步包括：

介质管，所述介质管固定在所述第二承载件上，所述高压电极设置在所述介质管的外侧。

5.根据权利要求1所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：所述气体管道包括：

第一部分，所述第一部分包括所述内径较大段和过渡段；

第二部分，第二部分包括所述内径较小段；所述第一部分的导热率大于所述第二部分；

连接部分，所述连接部分连接所述第一部分和第二部分。

6.根据权利要求5所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：所述第一部分是金属管，第二部分是陶瓷管。

7.根据权利要求2所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：所述加热件包括：

基座，所述基座处于所述气体管道内，且一端固定在所述第一承载件上，另一端伸入到所述内径较小段内；

加热丝，所述加热丝绕在处于所述内径较小段内的基座上。

8.根据权利要求2所述的具有新型控温功能的离子源，其特征在于：所述离子源进一步包括：

底座，所述第一承载件和第二承载件固定在所述底座上。