[实用新型]一种晶圆镊子

说明书

本实用新型涉及了一种晶圆镊子，其包括：上镊体，下镊体，上镊头，下镊头。上镊体与下镊体通过其尾部固定连接。在上镊体与下镊体相对内侧面设置有弹性体。上镊头和下镊头为折线形结构，且交错设置。这样一来，在弹性体的作用下，上镊头和下镊头的夹持面相互贴合。使用时，首先通过握持压紧上、下镊体实现对弹性体的压缩，从而使得上、下镊头的夹持面相互分开，当晶圆镊子相对于晶圆放置到位后，放松上、下镊体，在弹性体回复力的作用下实现对晶圆的自动压紧。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆镊子。

背景技术

在晶圆的生产过程中，通常需要使用镊子对其进行夹持，镊子对晶圆的夹紧力通常依靠人为施加，不易控制施加力的大小。施加力太小，晶圆在转移过程中容易发生晃动、滑落；施加力太大，容易损伤晶圆的表面。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种结构简单、便于操作、施力恒定的晶圆镊子。

为了解决上述技术问题，本实用新型涉及了一种晶圆镊子，其包括：上镊体，下镊体，上镊头，下镊头。上镊体与下镊体通过其尾部固定连接。在上镊体与下镊体相对内侧面上设置有弹性体。上镊头和下镊头为折线形结构，且交错设置。

该晶圆镊子上镊头和下镊头交错设置，且在弹性体的作用下，上镊头和下镊头的夹持面相互贴合。使用时，首先通过握持压紧上、下镊体而实现对弹性体的压缩，从而使得上、下镊头的夹持面相互分开，当晶圆镊子相对于晶圆放置到位后，放松上、下镊体，在弹性体回复力的作用下实现对晶圆的自动压紧。由于弹性体回复量恒定，因而上、下镊头夹持面对晶圆的作用力的也是恒定的。

作为本实用新型的进一步改进，上镊头和所述下镊头均为扁平结构。

扁平结构增大了镊头与晶圆表面的夹持接触面积，使得夹持更加可靠、稳定，且避免了由于局部作用力过大导致损坏晶圆表面的现象发生。

作为本实用新型的进一步改进，下镊头伸出长度大于上镊头伸出长度，且下镊头的下平面为削斜结构。

下镊头设置为削斜结构，具体形式为前薄后厚，且其伸出长度大于上镊头伸出长度，这样一来，便于下镊头伸入晶圆底部，从而实现晶圆镊子对晶圆的夹紧。

作为本实用新型的进一步改进，上镊头具有防滑条纹。

在对晶圆施加作用力一定的情况下，上镊头夹持面上设置的防滑条纹能更好地实现对晶圆的夹紧，防止晶圆滑动坠落。

作为本实用新型的进一步改进，上镊头的端部为矩形齿状结构。

在施加作用力一定的情况下，矩形齿状结构的上镊头能较好地与晶圆表面进行贴合，从而使得夹持更稳定。

作为本实用新型的进一步改进，上镊头和下镊头材质均选用聚醚醚酮。

聚醚醚酮具有较好的耐磨性，因此，当镊头夹取晶圆的时候，不会对晶圆的表面产生划痕，不会因摩擦而对晶圆表面产生残留物，从而降低由于夹持操作对晶圆表面洁净度的影响。

作为本实用新型的进一步改进，在上镊体与下镊体的外侧面均设置有防滑部。

设置的防滑部能在下压上、下镊体的过程中更好进行施加作用力，且由于镊体与手部的摩擦力更大，使得晶圆的转移过程更加安全、可靠。

作为本实用新型的进一步改进，上镊体和下镊体材质均选用奥氏体不锈钢。

奥氏体不锈钢具有无磁性，高韧性、耐腐蚀性等特点。

作为本实用新型的进一步改进，弹性体为弹簧。