[实用新型]一种晶圆镊子有效
| 申请号： | 201721922427.2 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN207807489U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B9/02 | 分类号： | B25B9/02 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄珩 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镊体 镊头 镊子 晶圆 夹持面 种晶 本实用新型 折线形结构 侧面设置 交错设置 自动压紧 回复力 贴合 握持 压紧 压缩 放松 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆镊子，其包括：上镊体，下镊体，上镊头，下镊头，所述上镊体与所述下镊体通过其尾部固定连接，其特征在于，在所述上镊体与所述下镊体相对内侧面上设置有弹性体；所述上镊头和所述下镊头为折线形结构，且交错设置。
2.根据权利要求1所述的晶圆镊子，其特征在于，所述上镊头和所述下镊头均为扁平结构。
3.根据权利要求2所述的晶圆镊子，其特征在于，所述下镊头伸出长度大于所述上镊头伸出长度，且所述下镊头的下平面为削斜结构。
4.根据权利要求3所述的晶圆镊子，其特征在于，所述上镊头具有防滑条纹。
5.根据权利要求4所述的晶圆镊子，其特征在于，所述上镊头的端部为矩形齿状结构。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的晶圆镊子，其特征在于，所述上镊头和所述下镊头材质均选用聚醚醚酮。
7.根据权利要求1所述的晶圆镊子，其特征在于，在所述上镊体与所述下镊体的外侧面均设置有防滑部。
8.根据权利要求1所述的晶圆镊子，其特征在于，所述上镊体和所述下镊体材质均选用奥氏体不锈钢。
9.根据权利要求1所述的晶圆镊子，其特征在于，所述弹性体为弹簧。
10.根据权利要求1所述的晶圆镊子，其特征在于，所述上镊头和所述下镊头分别与相对应的所述上镊体与所述下镊体采用可拆卸连接方式。
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