[实用新型]吹气系统和自动化晶圆表面清洁装置

权利要求书

1.一种吹气系统，其特征在于，包括：

气体过滤器，用于连接至吹扫气体源，对吹扫气体进行过滤；

调压阀，连接至气体过滤器，用于调整吹扫气体压力；

阀门，连接至所述调压阀，用于启动或关闭所述吹气系统；

喷头组件，连接至所述阀门，吹扫气体自所述喷头组件喷出对晶圆表面进行吹扫；

所述气体过滤器、调压阀、阀门以及喷头组件之间通过气体管路连接。

2.根据权利要求1所述的吹气系统，其特征在于，所述喷头组件包括多个平行排列的喷嘴。

3.根据权利要求1所述的吹气系统，其特征在于，所述气体过滤器与调压阀之间还连接有污染粒子探测器。

4.根据权利要求1所述的吹气系统，其特征在于，调压阀与阀门之间还连接有压力表，用于检测气体管路内的气体压力并设定气体压力阈值。

5.根据权利要求3所述的吹气系统，其特征在于，还包括：报警器，连接至所述污染粒子探测器，用于当所述污染粒子探测器探测到污染粒子浓度超过阈值时进行报警。

6.根据权利要求5所述的吹气系统，其特征在于，所述报警器还连接至压力表，用于当压力吹气系统压力超过气体压力阈值时进行报警。

7.根据权利要求5所述的吹气系统，其特征在于，还包括：复位模块，连接至报警器，用于取消报警。

8.一种自动化晶圆表面清洁装置，其特征在于，包括：

基台，用于放置晶圆；

真空检测器，与所述基台连接，用于检测所述基台上是否放置有晶圆；

如权利要求1至7任一项所述的吹气系统；

所述吹气系统的阀门连接至所述真空检测器，用于当所述真空检测器检测到基台上放置有晶圆时，启动所述吹气系统；

所述吹气系统的喷头组件位于基台斜上方，喷气方向斜向下朝向基台表面。

9.根据权利要求8所述的自动化晶圆表面清洁装置，其特征在于，还包括：

抽气模组，用于将从晶圆表面吹扫下的污染粒子排出。

10.根据权利要求8所述的自动化晶圆表面清洁装置，其特征在于，还包括：

电机，与所述基台连接，用于驱动所述基台移动。