[实用新型]一种可拆卸成膜框架装置

说明书

本实用新型公开了一种可拆卸成膜框架装置，包括框架、置于框架上的若干碳框，硅片放置于碳框内，框架上设有若干纵横排列的槽位，槽位尺寸与碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内，本实用新型采用可拆卸碳框结构，使一体的成膜框架结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。

技术领域

本实用新型涉及到一种太阳能电池制造设备，尤其涉及到一种便于拆卸和清洗的可拆卸成膜框架装置。

背景技术

目前的太阳能电池板式成膜设备主要采用石墨框装载硅片进入设备腔体内部，实现硅片表面成膜，硅片在成膜过程中，石墨框表面也会逐渐沉积Si3N4膜，使用一定周期后会造成石墨框不同槽位的成膜均匀性差，影响电池外观和电性能，所以石墨框必须定期清洗，以去除表面的Si3N4膜后再次使用。

由于常规石墨框是一体结构，如图1所示，其体积较大且结构复杂，每次清洗都要委托专门的清洗厂家负责清洗，且清洗前后需要拆装石墨框边缘的碳条、卡钉等，拆卸不便且搬运装卸困难。

实用新型内容

本实用新型主要解决现有固定式石墨框存在拆卸不易、清洗困难的技术问题；提供了一种便于拆卸和清洗的可拆卸成膜框架装置。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型主要是采用下述技术方案：

本实用新型的一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，所述装置包括框架、置于框架上的若干碳框，所述碳框尺寸与所述硅片相吻合且容置硅片，所述框架上设有若干纵横排列的槽位，所述槽位尺寸与所述碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内，采用可拆卸碳框结构，使一体的石墨框结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。

作为优选，所述碳框顶部设有翻边，碳框通过所述翻边搁置于所述槽位内，多个碳框可通过翻边结构而活动安装在框架的槽位上，可根据需要单独对相应的碳框进行拆卸清洗。

作为优选，所述框架表面的两侧边沿分别固设有对称且相互平行的导条，导条对应并嵌套成膜设备上的移动导轨，使框架移动准确。

作为优选，位于所述导条外侧的框架侧面端部呈斜面状，斜面状的框架侧面端部方便框架进入成膜设备腔体的轨道内，使框架端部不会擦碰或卡住轨道。

作为优选，所述框架、碳框和导条材质均为石墨材料，导条采用石墨材质可增加移动的摩擦力，框架运行平稳可靠。

本实用新型的有益效果是：成膜框架装置采用可拆卸结构，使一体的成膜框架结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。

附图说明

图1是现有的成膜框架结构示意图。

图2是本实用新型的一种结构示意图。

图3是图2中的框架结构示意图。

图4是图2中的碳框结构示意图。

图中1.硅片，2.框架，3.碳框，4.槽位，5.导条，6.斜面。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型技术方案作进一步具体说明。