[实用新型]一种可拆卸成膜框架装置有效
| 申请号： | 201721855090.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207793422U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 熊晓辉;金重玄 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/34;C23C14/50;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏;方琦 |
| 地址： | 310053 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳框 成膜 清洗 可拆卸 槽位 本实用新型 框架装置 拆卸清洗 单独拆卸 硅片放置 框架结构 清洗效率 纵横排列 嵌设 吻合 分解 | ||
【权利要求书】：
1.一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片(1)并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，其特征在于：所述装置包括框架(2)、置于框架上的若干碳框(3)，所述碳框尺寸与所述硅片相吻合且容置硅片，所述框架上设有若干纵横排列的槽位(4)，所述槽位尺寸与所述碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内。
2.根据权利要求1所述的一种可拆卸成膜框架装置，其特征在于：所述碳框(3)顶部设有翻边，碳框通过所述翻边搁置于所述槽位(4)内。
3.根据权利要求1或2所述的一种可拆卸成膜框架装置，其特征在于：所述框架(2)上表面的两侧边沿分别固设有对称且相互平行的导条(5)。
4.根据权利要求3所述的一种可拆卸成膜框架装置，其特征在于：位于所述导条外侧的框架侧面端部呈斜面状(6)。
5.根据权利要求1所述的一种可拆卸成膜框架装置，其特征在于：所述框架、碳框和导条材质均为石墨材料。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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